飞秒激光微纳加工中细观力学研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-28页 |
| ·微型机电系统研究现状 | 第9-13页 |
| ·微型机电系统研究背景及现状 | 第9-12页 |
| ·微型机电系统的特点与常用的微细加工方法 | 第12-13页 |
| ·飞秒激光微纳加工原理和研究现状 | 第13-18页 |
| ·飞秒激光微纳加工原理 | 第13-15页 |
| ·飞秒激光微纳加工的特点 | 第15-16页 |
| ·国内外研究现状 | 第16-18页 |
| ·微机电系统力学量常用测试方法 | 第18-23页 |
| ·压痕法 | 第18-20页 |
| ·弯曲法 | 第20-21页 |
| ·拉伸法 | 第21-23页 |
| ·本文研究的意义和主要内容 | 第23-28页 |
| 第二章 飞秒微纳加工成型点弹性模量测量与分析 | 第28-51页 |
| ·飞秒激光微纳加工成型点的制备 | 第29-31页 |
| ·飞秒激光微纳加工固化原理 | 第29页 |
| ·飞秒激光微纳加工成型点聚合 | 第29-30页 |
| ·应用逐点提升法制作固化单元 | 第30-31页 |
| ·原子力显微镜测量成型点力学特性 | 第31-38页 |
| ·原子力显微镜工作原理 | 第31-33页 |
| ·成型点力学特性测量原理 | 第33-34页 |
| ·微探针弹性系数的标定 | 第34-36页 |
| ·成型点力曲线的测量 | 第36-38页 |
| ·解析法求解成型点弹性模量 | 第38-43页 |
| ·用JKR理论模型求解成型点弹性模量 | 第38-39页 |
| ·粘附力分析 | 第39-40页 |
| ·样品与探针之间粘附力作用不明显的测量结果分析 | 第40-42页 |
| ·用Hertz理论模型求解成型点弹性模量 | 第42-43页 |
| ·有限元法求解成型点弹性模量 | 第43-49页 |
| ·有限元法接触分析简介 | 第44-47页 |
| ·有限元模型的建立 | 第47页 |
| ·加载及求解 | 第47-48页 |
| ·成型点弹性模量求解 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 第三章 支持向量机求解成型点弹性模量 | 第51-71页 |
| ·常用回归方法概述 | 第52-53页 |
| ·训练样本数据的获取 | 第53-57页 |
| ·有限元仿真技术获取训练样本 | 第53-55页 |
| ·训练、检测样本数据规划 | 第55-57页 |
| ·支持向量机回归理论 | 第57-65页 |
| ·机器学习与统计学习理论的基本概念 | 第58-63页 |
| ·支持向量机回归方法 | 第63-65页 |
| ·基于支持向量机建立成型点力学模型 | 第65-68页 |
| ·本章小结 | 第68-71页 |
| 第四章 飞秒激光微纳加工线、面力学性能测量与分析 | 第71-93页 |
| ·飞秒激光微纳加工线、面的制作 | 第71-78页 |
| ·重合率对飞秒激光微纳加工质量影响的实验研究 | 第72-74页 |
| ·重合率对飞秒激光微纳加工直线质量影响的理论分析 | 第74-76页 |
| ·重合率对飞秒激光微纳加工平面质量影响的理论分析 | 第76-78页 |
| ·纳米压痕技术及其相关理论 | 第78-86页 |
| ·纳米压入仪的基本原理 | 第78-80页 |
| ·常用压头简介 | 第80-81页 |
| ·材料硬度的测量 | 第81-83页 |
| ·材料弹性模量的测量与评定 | 第83-86页 |
| ·纳米硬度计测量飞秒激光微纳加工面的力学性能 | 第86-91页 |
| ·飞秒激光微纳加工面的加工及形貌测量 | 第86-88页 |
| ·飞秒激光微纳加工面的力学性能测量 | 第88-90页 |
| ·检测区域的形貌测量及结果分析 | 第90-91页 |
| ·本章小结 | 第91-93页 |
| 第五章 总结与展望 | 第93-96页 |
| ·工作总结 | 第93-94页 |
| ·主要创新点 | 第94页 |
| ·研究工作展望 | 第94-96页 |
| 附表 | 第96-103页 |
| 攻读博士学位期间发表论文 | 第103-104页 |
| 致谢 | 第104页 |
