| 提要 | 第1-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-27页 |
| ·光开关在全光通信网络中的应用 | 第9-11页 |
| ·全光网络(AON) | 第9-10页 |
| ·光开关在通信网络中的应用 | 第10-11页 |
| ·光开关的种类 | 第11-13页 |
| ·MEMS 技术 | 第13-17页 |
| ·MEMS 技术概念及其特点 | 第14页 |
| ·MEMS 工艺技术 | 第14-16页 |
| ·MEMS 技术的应用 | 第16-17页 |
| ·MEMS 光开关和MEMS 光开关阵列 | 第17-24页 |
| ·MEMS 光开关的种类 | 第17-20页 |
| ·MEMS 光开关关键技术 | 第20-21页 |
| ·MEMS 光开关国内外研究现状 | 第21-24页 |
| ·课题来源及本文主要研究内容 | 第24-25页 |
| ·课题来源 | 第24页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第24-25页 |
| ·小结 | 第25-27页 |
| 第二章 （110）硅片各向异性腐蚀特性的研究 | 第27-48页 |
| ·硅的晶体结构 | 第27-28页 |
| ·硅的湿法腐蚀 | 第28-33页 |
| ·硅的各向异性湿法腐蚀 | 第28-32页 |
| ·各向异性腐蚀剂 | 第28-31页 |
| ·硅的各向异性腐蚀机制 | 第31-32页 |
| ·硅的各向同性腐蚀 | 第32-33页 |
| ·（110）硅片的结晶学特点 | 第33-34页 |
| ·（110）硅片在KOH溶液中的腐蚀特性 | 第34-39页 |
| ·KOH 溶液对（110）面的影响 | 第35-37页 |
| ·KOH 溶液对垂直{111}面的影响 | 第37-39页 |
| ·KOH 溶液的晶向选择性腐蚀 | 第39页 |
| ·（110）硅片上制作自对准光纤定位槽的研究 | 第39-42页 |
| ·凸角削角和菱形凸角补偿的研究 | 第42-47页 |
| ·KOH 溶液和KOH+IPA 溶液中的凸角腐蚀 | 第43-44页 |
| ·KOH 溶液和KOH+IPA 溶液中的菱形凸角补偿 | 第44-46页 |
| ·菱形凸角补偿结果分析 | 第46-47页 |
| ·小结 | 第47-48页 |
| 第三章 光开关阵列的工作原理与结构设计 | 第48-62页 |
| ·光开关阵列的工作原理 | 第48-49页 |
| ·光开关单元上电极结构设计 | 第49-50页 |
| ·驱动电压与光开关结构参数关系分析 | 第50-53页 |
| ·光开关单元上电极结构与驱动电压 | 第53-57页 |
| ·下电极结构与驱动电压 | 第57-61页 |
| ·平面下电极结构光开关的驱动电压 | 第58页 |
| ·倾斜下电极结构光开关的驱动电压 | 第58-61页 |
| ·小结 | 第61-62页 |
| 第四章 光学部分设计与分析 | 第62-86页 |
| ·单模光纤传输理论 | 第62-66页 |
| ·高斯光束传播理论 | 第62-65页 |
| ·高斯光束的q 参数及变换公式—ABCD 变换 | 第65-66页 |
| ·光纤准直器的耦合损耗分析 | 第66-74页 |
| ·准直器的选择 | 第66-69页 |
| ·光纤准直器耦合引起的插入损耗分析 | 第69-74页 |
| ·微反射镜引起的插入损耗分析 | 第74-84页 |
| ·微反射镜与高斯光斑匹配引起的插入损耗 | 第74-75页 |
| ·微反射镜表面粗糙度引起的插入损耗 | 第75-76页 |
| ·微反射镜垂直性引起的插入损耗 | 第76-78页 |
| ·金属膜对反射效率的影响 | 第78-84页 |
| ·小结 | 第84-86页 |
| 第五章 8×8 光开关阵列的制作与测试 | 第86-113页 |
| ·掩模版的制作 | 第86页 |
| ·工艺设备与工艺参数 | 第86-89页 |
| ·光开关阵列的制作工艺流程 | 第89-105页 |
| ·光开关阵列上电极的制作 | 第89-98页 |
| ·{111}面的晶向定位 | 第90-92页 |
| ·微反射镜阵列的制作 | 第92-94页 |
| ·悬臂扭臂驱动结构的制作 | 第94-98页 |
| ·倾斜下电极阵列的制作 | 第98-105页 |
| ·（111）硅片的各向异性腐蚀特性 | 第98-99页 |
| ·倾斜（111）硅片的制作 | 第99-100页 |
| ·倾斜下电极掩模版图设计 | 第100-102页 |
| ·倾斜下电极阵列的制作工艺流程 | 第102-104页 |
| ·驱动信号金属引线的制作 | 第104-105页 |
| ·光开关阵列的组装 | 第105-106页 |
| ·光开关性能测试 | 第106-111页 |
| ·微反射镜镜面粗糙度的测量 | 第106-108页 |
| ·驱动电压的测试 | 第108-109页 |
| ·光学性能的测试 | 第109-111页 |
| ·小结 | 第111-113页 |
| 第六章 结论 | 第113-117页 |
| 参考文献 | 第117-132页 |
| 致谢 | 第132-133页 |
| 攻读博士学位期间发表论文及参与项目 | 第133-135页 |
| 摘要 | 第135-139页 |
| ABSTRACT | 第139-143页 |