pH-ISFET生物微传感集成芯片的研究
| 第一章 绪论 | 第1-23页 |
| ·生物传感集成芯片研究背景及意义 | 第8页 |
| ·生物微传感集成芯片系统研究 | 第8-16页 |
| ·电位型生物传感器 | 第10-12页 |
| ·pH-ISFETs简介 | 第12-15页 |
| ·ISFETs与标准CMOS工艺兼容性研究 | 第15-16页 |
| ·研究现状和发展趋势 | 第16-19页 |
| ·本文主要研究工作 | 第19-23页 |
| 第二章 pH-ISFET行为模型的建立与仿真计算 | 第23-50页 |
| ·ISFET器件模拟仿真发展现状 | 第23-24页 |
| ·ISFET传感机理探讨 | 第24-26页 |
| ·EIS系统界面势模拟计算 | 第26-30页 |
| ·EIS系统方程组 | 第26页 |
| ·模拟计算分析 | 第26-30页 |
| ·pH-ISFET器件模拟SPICE仿真研究 | 第30-36页 |
| ·MOSFET特性分析 | 第30-33页 |
| ·ISFET的电学特性 | 第33-35页 |
| ·温度特性分析 | 第35-36页 |
| ·ISFET器件SPICE模型 | 第36-41页 |
| ·模型建立 | 第36-40页 |
| ·模型参数的确定 | 第40-41页 |
| ·SPICE模拟及结果讨论 | 第41-47页 |
| ·器件的转移特性和输出特性 | 第42页 |
| ·pH灵敏度响应 | 第42-43页 |
| ·传感器温度特性分析 | 第43-44页 |
| ·其它相关参数仿真 | 第44-45页 |
| ·传感芯片级模拟仿真 | 第45-47页 |
| ·小结 | 第47-50页 |
| 第三章 ISFET集成芯片兼容性设计与制备 | 第50-67页 |
| ·pH-ISFET与标准CMOS工艺的兼容性研究 | 第50-63页 |
| ·标准CMOS工艺简介 | 第50-52页 |
| ·敏感材料的选择 | 第52-54页 |
| ·集成芯片设计 | 第54-56页 |
| ·传感器结构及布局优化设计 | 第56-57页 |
| ·偏置及读出电路设计简介 | 第57-59页 |
| ·整体版图实现 | 第59-60页 |
| ·芯片后续工艺实现 | 第60-62页 |
| ·ISFET集成芯片封装 | 第62-63页 |
| ·传感芯片电路性能测试 | 第63-64页 |
| ·小结 | 第64-67页 |
| 第四章 Ta_2O_5敏感薄膜的研究 | 第67-81页 |
| ·Ta_2O_5敏感薄膜研究现状 | 第67-68页 |
| ·EGFET结构简介 | 第68页 |
| ·低温Ta_2O_5薄膜淀积工艺探索 | 第68-77页 |
| ·薄膜制备与处理条件对薄膜物性影响 | 第68-74页 |
| ·薄膜敏感特性分析 | 第74-77页 |
| ·不理想因素浅析 | 第77-78页 |
| ·小结 | 第78-81页 |
| 第五章 集成芯片测试与分析 | 第81-95页 |
| ·pH-ISFET集成芯片 | 第81-82页 |
| ·集成芯片测试系统 | 第82页 |
| ·器件MOS特性测试与分析 | 第82-83页 |
| ·集成芯片测试分析 | 第83-92页 |
| ·Ta_2O_5栅ISFET集成芯片响应分析 | 第83-88页 |
| ·PTFE栅REFET测试与分析 | 第88-91页 |
| ·集成芯片整体pH响应分析 | 第91-92页 |
| ·温度补偿传感器设计探讨 | 第92-93页 |
| ·小结 | 第93-95页 |
| 第六章 结论与展望 | 第95-98页 |
| ·论文完成的主要工作 | 第95-96页 |
| ·本文创新点 | 第96页 |
| ·对下一步的工作建议 | 第96-98页 |
| 附录 | 第98-109页 |
| 附录A | 第98-105页 |
| 附录B | 第105-107页 |
| 附录C | 第107-108页 |
| 附录D | 第108-109页 |
| 发表论文目录 | 第109-110页 |
| 致谢 | 第110页 |
