| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| 第一章 综述 | 第10-16页 |
| ·课题研究的背景 | 第10-13页 |
| ·纳米位移测量准直的意义 | 第13-14页 |
| ·论文的研究意义 | 第14页 |
| ·论文的组织结构及研究思路 | 第14-16页 |
| 第二章 激光合成波长纳米位移测量干涉仪准直方法的理论分析 | 第16-34页 |
| ·本章概述 | 第16页 |
| ·激光合成波长纳米位移测量干涉仪的测量原理 | 第16-18页 |
| ·合成波长的概念 | 第16页 |
| ·激光合成波长干涉纳米位移测量方法 | 第16-18页 |
| ·激光合成波长纳米位移测量干涉仪的准直方法 | 第18-22页 |
| ·激光合成波长纳米位移测量干涉仪的准直方法及系统结构 | 第18-19页 |
| ·主要元件的选择 | 第19-22页 |
| ·角锥棱镜的光学特性分析 | 第22-28页 |
| ·光线矢量方向的分析与计算 | 第24-25页 |
| ·光线在角锥棱镜内部路程的分析与计算 | 第25-28页 |
| ·角锥棱镜位置变动对出射点与出射光线位置影响的分析 | 第28-33页 |
| ·角锥棱镜的位置变动对出射点位置的影响 | 第28-31页 |
| ·角锥棱镜的位置变动对出射光线位置的影响 | 第31-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 信号处理方法 | 第34-46页 |
| ·本章概述 | 第34页 |
| ·信号处理方法设计 | 第34-37页 |
| ·四象限探测器的工作原理 | 第34-35页 |
| ·信号处理方案选择 | 第35-36页 |
| ·总体方案 | 第36-37页 |
| ·硬件电路的设计 | 第37-43页 |
| ·I/V 转换 | 第37-38页 |
| ·前级处理电路 | 第38-39页 |
| ·运算处理电路 | 第39-41页 |
| ·电源电路设计 | 第41-42页 |
| ·反相比例、跟随电路设计 | 第42页 |
| ·电路实物图 | 第42-43页 |
| ·A/D 采样程序的实现 | 第43-44页 |
| ·上位机软件设计 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 系统实验与分析 | 第46-64页 |
| ·本章概述 | 第46页 |
| ·角锥棱镜横向移动对激光合成波长干涉仪测量误差的影响 | 第46-55页 |
| ·理论分析 | 第46-51页 |
| ·仿真与实验 | 第51-55页 |
| ·参考角锥棱镜的准直测量实验 | 第55-59页 |
| ·测量角锥棱镜的准直测量实验 | 第59-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 总结与展望 | 第64-66页 |
| ·论文的主要创新点 | 第64页 |
| ·论文完成的具体工作 | 第64-65页 |
| ·论文展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第70-71页 |
| 附录 一 | 第71-77页 |
| 附录 二 | 第77-78页 |
| 附录 三 | 第78-79页 |
