| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 综述 | 第9-17页 |
| ·论文的背景及意义 | 第9-10页 |
| ·现代纳米测量技术现状 | 第10-12页 |
| ·纳米测量技术的非光学方法 | 第10-11页 |
| ·纳米测量技术的光学方法 | 第11-12页 |
| ·激光外差干涉测量现状 | 第12-13页 |
| ·激光外差干涉测量信号处理方法 | 第13-15页 |
| ·频率解调法 | 第13页 |
| ·频率求差积分法 | 第13-15页 |
| ·相位解调法 | 第15页 |
| ·本论文的组织结构及研究思路 | 第15-17页 |
| 第二章 基于DSP 的激光外差干涉测量系统 | 第17-27页 |
| ·激光外差干涉测量系统整体框架 | 第17-18页 |
| ·激光外差干涉测量原理 | 第18-20页 |
| ·激光外差干涉测量系统的光路 | 第20-24页 |
| ·双频光源的获得 | 第20-21页 |
| ·主要元件的选择 | 第21-24页 |
| ·激光外差干涉测量信号处理方法 | 第24-25页 |
| ·模拟鉴相方法 | 第24-25页 |
| ·数字鉴相方法 | 第25页 |
| ·CPLD、FPGA、DSP 和单片机比较 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 基于DSP 的激光外差干涉测量信号处理系统研制 | 第27-47页 |
| ·基于DSP 的外差干涉测量系统整体结构 | 第27-28页 |
| ·基于DSP 的激光外差干涉信号处理方法及实现 | 第28-33页 |
| ·基于DSP 的激光外差干涉信号处理方法原理 | 第28-29页 |
| ·信号处理的DSP 选型 | 第29-33页 |
| ·硬件电路设计 | 第33-40页 |
| ·硬件电路整体结构 | 第33页 |
| ·芯片的选取 | 第33-36页 |
| ·混频滤波电路的设计 | 第36-38页 |
| ·整形电路的设计 | 第38-39页 |
| ·其他部分电路设计 | 第39-40页 |
| ·基于DSP 的软件设计 | 第40-46页 |
| ·主程序设计 | 第42-44页 |
| ·捕捉单元模块软件设计 | 第44页 |
| ·SCI 通讯模块设计 | 第44-46页 |
| ·上位机软件设计 | 第46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 实验与误差分析 | 第47-65页 |
| ·相位差测量实验 | 第47-51页 |
| ·激光外差干涉纳米测量实验 | 第51-62页 |
| ·系统稳定性实验 | 第51-53页 |
| ·位移测量实验 | 第53-62页 |
| ·误差分析 | 第62-64页 |
| ·空气折射率 | 第62-63页 |
| ·激光器频率引起的误差 | 第63页 |
| ·其他因素引起的误差 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 总结与展望 | 第65-67页 |
| ·论文的主要创新点 | 第65页 |
| ·论文完成的具体工作 | 第65-66页 |
| ·论文展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 攻读学位期间研究成果 | 第73-74页 |
| 附录 | 第74-77页 |