| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 论文的主要创新与贡献 | 第8-9页 |
| 目录 | 第9-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-37页 |
| ·研究背景 | 第13-18页 |
| ·中波红外窗口及头罩材料 | 第18-21页 |
| ·改善蓝宝石高温强度的研究进展 | 第21-24页 |
| ·薄膜的设计及制备 | 第24-26页 |
| ·薄膜设计 | 第24-25页 |
| ·薄膜制备 | 第25-26页 |
| ·头罩的均匀镀膜 | 第26-28页 |
| ·材料的耐久性测试 | 第28-29页 |
| ·本论文的工作 | 第29-31页 |
| ·目的和意义 | 第29-30页 |
| ·主要研究内容 | 第30-31页 |
| 参考文献 | 第31-37页 |
| 第2章 膜系设计、评价及分析 | 第37-57页 |
| ·引言 | 第37页 |
| ·光学膜系的理论计算 | 第37-39页 |
| ·膜系设计与实现 | 第39-48页 |
| ·膜系设计方法 | 第39-42页 |
| ·膜系评价函数 | 第39-40页 |
| ·优化方法的选择 | 第40-42页 |
| ·增透保护膜系设计 | 第42-43页 |
| ·膜系设计的实现 | 第43-44页 |
| ·膜系设计的结果 | 第44-48页 |
| ·膜系结构评价 | 第48-53页 |
| ·结构敏感因子分析 | 第49-50页 |
| ·结构偏差分析 | 第50-53页 |
| ·膜系分析 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-57页 |
| 第3章 SiO_2薄膜的制备及性能 | 第57-93页 |
| ·引言 | 第57页 |
| ·SiO_2薄膜的制备 | 第57-68页 |
| ·实验过程 | 第57-59页 |
| ·SiO_2薄膜的制备工艺 | 第59-68页 |
| ·工艺参数对薄膜沉积速率的影响 | 第60-65页 |
| ·工艺参数对薄膜质量的影响 | 第65-68页 |
| ·SiO_2薄膜的内应力 | 第68-76页 |
| ·气体流量比对薄膜内应力的影响 | 第69-71页 |
| ·温度对薄膜内应力的影响 | 第71-74页 |
| ·功率对薄膜内应力的影响 | 第74-76页 |
| ·SiO_2薄膜的性质 | 第76-80页 |
| ·SiO_2薄膜的成分 | 第76-77页 |
| ·SiO_2薄膜的结构 | 第77-78页 |
| ·SiO_2膜系的红外透过性能 | 第78-80页 |
| ·温度对红外透过性能的影响 | 第80-84页 |
| ·蓝宝石头罩镀膜分析 | 第84-90页 |
| ·实验装置 | 第84-85页 |
| ·头罩增透保护膜系的制备 | 第85-89页 |
| ·厚度分布分析 | 第85-87页 |
| ·镀膜后的透射光谱 | 第87-89页 |
| ·蓝宝石头罩镀膜 | 第89-90页 |
| ·本章小结 | 第90-91页 |
| 参考文献 | 第91-93页 |
| 第4章 Si_3N_4及SiO_2/Si_3N_4膜系的制备 | 第93-107页 |
| ·引言 | 第93页 |
| ·Si_3N_4薄膜的制备 | 第93-98页 |
| ·实验过程 | 第93-94页 |
| ·Si_3N_4薄膜的制备工艺 | 第94-98页 |
| ·Si_3N_4薄膜的成分 | 第98-100页 |
| ·Si_3N_4薄膜的折射率 | 第100-101页 |
| ·Si_3N_4薄膜的结构 | 第101-102页 |
| ·Si_3N_4薄膜的硬度 | 第102-103页 |
| ·SiO_2/Si_3N_4增透膜系的制备 | 第103-105页 |
| ·本章小结 | 第105-106页 |
| 参考文献 | 第106-107页 |
| 第5章 SiO_2膜系的抗雨蚀性能 | 第107-123页 |
| ·引言 | 第107页 |
| ·雨蚀试验简介 | 第107-111页 |
| ·材料的雨蚀机理 | 第108-110页 |
| ·雨蚀测试方法 | 第110-111页 |
| ·SiO_2/Sapphire的抗雨蚀性能 | 第111-119页 |
| ·雨蚀试验过程 | 第111-112页 |
| ·雨蚀试验结果 | 第112-119页 |
| ·本章小结 | 第119-121页 |
| 参考文献 | 第121-123页 |
| 第6章 镀膜对蓝宝石强度的改善 | 第123-155页 |
| ·引言 | 第123页 |
| ·断裂强度的微裂纹理论 | 第123-129页 |
| ·固体材料的理论断裂强度 | 第124-127页 |
| ·Griffith裂口理论 | 第127-129页 |
| ·蓝宝石的强度测试 | 第129-132页 |
| ·强度测试前后试样分析 | 第132-136页 |
| ·高温强度测试后XRD分析 | 第132-133页 |
| ·高温强度测试前后的红外透过率 | 第133-135页 |
| ·高温强度测试后SEM分析 | 第135-136页 |
| ·镀膜改善蓝宝石强度的原因分析 | 第136-152页 |
| ·表面结构 | 第136-141页 |
| ·表面形貌 | 第137-139页 |
| ·表面粗糙度 | 第139-141页 |
| ·表面应力 | 第141-148页 |
| ·表面应力的压痕测量方法 | 第141-143页 |
| ·表面应力测量及分析 | 第143-148页 |
| ·接触压缩应力 | 第148-152页 |
| ·本章小结 | 第152-153页 |
| 参考文献 | 第153-155页 |
| 主要结论 | 第155-157页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第157-159页 |
| 致谢 | 第159-160页 |