| 第一章 前言 | 第1-13页 |
| ·稀土永磁薄膜研究目的与意义 | 第9-10页 |
| ·稀土永磁材料的研究发展概况 | 第10-12页 |
| ·稀土永磁材料的发展历史 | 第10页 |
| ·Sm Co 永磁簿膜的研究现状及趋势 | 第10-12页 |
| ·课题的内容和设计方案 | 第12-13页 |
| 第二章 Sm(Co,Cu,Fe,Zr)Z永磁薄膜微磁学计算 | 第13-21页 |
| ·Sm(Co,Cu,Fe,Zr)Z永磁薄膜矫顽力机理 | 第13-14页 |
| ·微磁学方法简述 | 第14-17页 |
| ·微磁学概述 | 第14-15页 |
| ·微磁学原理 | 第15-16页 |
| ·数值微磁学 | 第16-17页 |
| ·Sm(Co,Cu,Fe,Zr)Z薄膜微磁学计算 | 第17-20页 |
| ·模型 | 第17-18页 |
| ·结果与讨论 | 第18-20页 |
| ·小结 | 第20-21页 |
| 第三章 Sm(Co,Cu,Fe,Zr)Z薄膜制备研究 | 第21-47页 |
| ·磁控溅射方法概述 | 第21-23页 |
| ·磁控溅射基本原理 | 第21-23页 |
| ·磁控溅射装置 | 第23页 |
| ·Sm(Co,Cu,Fe,Zr)Z薄膜制备 | 第23-26页 |
| ·Ar 气压对Sm(Co,Cu,Fe,Zr)Z薄膜成分的影响 | 第26-28页 |
| ·Sm(Co,Cu,Fe,Zr)Z永磁薄膜常规退火工艺研究 | 第28-37页 |
| ·表面形貌分析 | 第28-30页 |
| ·X-Ray 衍射（XRD）分析 | 第30-34页 |
| ·磁性能分析（VSM） | 第34-37页 |
| ·两级退火工艺对Sm(Co,Cu,Fe,Zr)Z永磁薄膜磁性能的影响 | 第37-41页 |
| ·两级退火工艺设计 | 第37-38页 |
| ·X-Ray 衍射（XRD）分析 | 第38-40页 |
| ·磁性能分析（VSM） | 第40-41页 |
| ·缓冲层Cr 膜厚与磁性能关系 | 第41-44页 |
| ·Sm(Co,Cu,Fe,Zr)Z薄膜厚度对矫顽力的影响 | 第44-47页 |
| 第四章 结论 | 第47-48页 |
| 致谢 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-54页 |
| 在硕士期间录用的学术论文 | 第54页 |
