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半导体工业降低复测率的研究与实现

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-6页
第一章 半导体测试环境简介第6-13页
   ·概述第6-8页
   ·半导体测试硬件环境第8-10页
   ·半导体测试软件环境第10-13页
第二章 复测产生的原因与降低复测率的意义第13-15页
第三章 优化测试程序降低复测率第15-29页
   ·程序可重复性与可复现性问题的讨论第15-17页
   ·改进测试方法降低复测率第17-19页
   ·测试程序与被测器件特性的一致性第19-24页
   ·程序对测试仪器稳定时间的正确设置第24-26页
   ·与测试程序相关的其它复测因素第26-29页
第四章 保持测试板良好工作状态降低复测率第29-33页
第五章 提高测试系统稳定性降低复测率第33-47页
   ·测试系统原因事例分析第34-43页
   ·系统原因失效分析第43-47页
第六章 改进晶圆制程与封装工艺降低复测率第47-51页
   ·芯片制造工艺对复测率的影响第47-48页
   ·芯片封装工艺对复测率的影响第48-51页
第七章 减少电性接触失效降低复测率第51-54页
总结与展望第54-55页
参考文献第55-56页
发表论文和参加科研情况说明第56-60页
致谢第60页

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