激光晶体等径生长控制系统的研究
| 1． 绪论 | 第1-18页 |
| 1．1 课题来源 | 第7-8页 |
| 1．2 激光晶体的生长原理 | 第8-11页 |
| 1．2．1 提拉法晶体生长简介 | 第8-9页 |
| 1．2．2 晶体直径控制原理 | 第9-11页 |
| 1．3 等径控制技术概况 | 第11-16页 |
| 1．3．1 等径控制的关键 | 第11-12页 |
| 1．3．2 数据采集方案分类 | 第12-13页 |
| 1．3．3 控制算法分类 | 第13-16页 |
| 1．4 课题的任务及意义 | 第16-18页 |
| 2． 系统总体方案确定 | 第18-33页 |
| 2．1 数据采集系统方案选择 | 第18-19页 |
| 2．2 直径调节器控制算法选择 | 第19-24页 |
| 2．2．1 主被控对象特性分析 | 第19-21页 |
| 2．2．2 模糊PID控制算法设计 | 第21-24页 |
| 2．3 控制系统结构方案选择 | 第24-30页 |
| 2．3．1 串级控制系统结构与特点 | 第24-28页 |
| 2．3．2 控制系统结构确定 | 第28-29页 |
| 2．3．3 副控制回路确定 | 第29-30页 |
| 2．4 系统硬件平台选择 | 第30-33页 |
| 3． 称重数据采集系统 | 第33-51页 |
| 3．1 称重数据采集系统组成 | 第33-34页 |
| 3．2 数据采集系统电路设计 | 第34-41页 |
| 3．2．1 电源设计 | 第34-36页 |
| 3．2．2 ADC通道设计 | 第36-38页 |
| 3．2．3 ADUC824与直径调节系统的通讯 | 第38-41页 |
| 3．3 数据采集系统软件设计 | 第41-46页 |
| 3．3．1 程序框架设计 | 第41-42页 |
| 3．3．2 ADC参数设置 | 第42-43页 |
| 3．3．3 串行通讯子程序设计 | 第43-46页 |
| 3．4 数据采集系统性能测试 | 第46-51页 |
| 3．4．1 测试平台 | 第46-48页 |
| 3．4．2 定标 | 第48-49页 |
| 3．4．3 精度分析 | 第49-51页 |
| 4． 直径调节系统 | 第51-61页 |
| 4．1 直径调节系统硬件设计 | 第51-55页 |
| 4．1．1 系统结构 | 第51-52页 |
| 4．1．2 ADUC812与LCD的接口 | 第52-54页 |
| 4．1．3 ADUC812与键盘的接口 | 第54-55页 |
| 4．2 直径调节系统软件设计 | 第55-61页 |
| 4．2．1 主程序流程 | 第55-56页 |
| 4．2．2 DAC参数设置 | 第56-57页 |
| 4．2．3 模糊PID控制算法软件实现 | 第57-61页 |
| 5． 系统仿真测试 | 第61-68页 |
| 5．1 SIMULINK简介 | 第61-62页 |
| 5．2 晶体生长控制仿真实例 | 第62-66页 |
| 5．2．1 建立系统模型 | 第62-63页 |
| 5．2．2 构造模糊PID算法模块 | 第63-66页 |
| 5．3 仿真结果分析 | 第66-68页 |
| 结论 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-72页 |
| 附录 | 第72-79页 |
| 作者简况 | 第79页 |
