| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 课题提出的背景及意义 | 第10-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-17页 |
| 1.2.1 压电驱动微定位平台的研究现状 | 第12-14页 |
| 1.2.2 压电微定位平台系统检测装置 | 第14-15页 |
| 1.2.3 压电微定位系统控制算法的研究现状 | 第15-16页 |
| 1.2.4 快速控制激光反射镜研究现状 | 第16-17页 |
| 1.3 课题研究的主要内容 | 第17-20页 |
| 第二章 激光光路调节系统的方案设计 | 第20-34页 |
| 2.1 前言 | 第20页 |
| 2.2 柔性铰链 | 第20-24页 |
| 2.2.1 柔性铰链概述 | 第20-22页 |
| 2.2.2 直圆型柔性铰链的力学分析 | 第22-24页 |
| 2.3 激光反射镜架的设计 | 第24-28页 |
| 2.3.1 柔性反射镜架结构设计 | 第24-25页 |
| 2.3.2 材料选取 | 第25页 |
| 2.3.3 柔性铰链设计参量分析 | 第25-26页 |
| 2.3.4 柔性铰链参数确定 | 第26-28页 |
| 2.4 微驱动器选型及工作原理分析 | 第28-32页 |
| 2.4.1 压电驱动器的工作原理 | 第28-31页 |
| 2.4.2 压电陶瓷电机的选型 | 第31-32页 |
| 2.5 本章小结 | 第32-34页 |
| 第三章 柔性激光反射镜架的伪刚体模型建立及有限元分析 | 第34-44页 |
| 3.1 前言 | 第34页 |
| 3.2 柔性镜架伪刚体模型 | 第34-38页 |
| 3.3 柔性镜架有限元分析 | 第38-43页 |
| 3.3.1 位移仿真 | 第39-40页 |
| 3.3.2 应力仿真 | 第40-41页 |
| 3.3.3 模态仿真 | 第41-43页 |
| 3.4 样机开发 | 第43页 |
| 3.5 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 激光光路精密调节系统定位精度影响因素分析 | 第44-52页 |
| 4.1 前言 | 第44页 |
| 4.2 压电陶瓷驱动器的非线性误差 | 第44-46页 |
| 4.2.1 迟滞特性 | 第44-45页 |
| 4.2.2 蠕变特性 | 第45-46页 |
| 4.2.3 温度特性 | 第46页 |
| 4.3 柔性铰链加工误差 | 第46-49页 |
| 4.4 重力引起误差 | 第49-50页 |
| 4.5 本章小结 | 第50-52页 |
| 第五章 激光光路精密调节系统控制系统的设计 | 第52-68页 |
| 5.1 前言 | 第52页 |
| 5.2 激光光路调节系统控制系统组成 | 第52-55页 |
| 5.2.1 控制系统概述 | 第52-53页 |
| 5.2.2 闭环控制系统的建立 | 第53页 |
| 5.2.3 控制系统硬件选型 | 第53-55页 |
| 5.3 控制算法建立 | 第55-63页 |
| 5.3.1 PID控制原理 | 第55-56页 |
| 5.3.2 模糊控制基本原理 | 第56-57页 |
| 5.3.3 模糊控制器的基本类型 | 第57-58页 |
| 5.3.4 模糊自整定PID控制器设计 | 第58-63页 |
| 5.4 控制系统仿真 | 第63-66页 |
| 5.4.1 控制系统传递函数 | 第63-64页 |
| 5.4.2 控制系统稳定性判定 | 第64-65页 |
| 5.4.3 控制系统仿真 | 第65-66页 |
| 5.5 本章小结 | 第66-68页 |
| 第六章 结论与展望 | 第68-70页 |
| 6.1 总结 | 第68页 |
| 6.2 展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 致谢 | 第74页 |