大口径光学元件波面误差的高精度检测技术研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 引言 | 第14-25页 |
| 1.1 课题来源及意义 | 第14-15页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第15-24页 |
| 1.2.1 平面光学元件绝对检测方法 | 第15-19页 |
| 1.2.2 大尺寸光学元件检测技术 | 第19-24页 |
| 1.3 本课题的主要研究内容 | 第24-25页 |
| 2 绝对检测技术研究 | 第25-55页 |
| 2.1 三平板互检绝对检测法 | 第25-31页 |
| 2.1.1 Schulz的三平板互检法 | 第25-26页 |
| 2.1.2 Zernike多项式拟合法 | 第26-29页 |
| 2.1.3 奇偶函数法 | 第29-31页 |
| 2.2 大口径绝对检测方法研究 | 第31-53页 |
| 2.2.1 N位旋转绝对检测技术 | 第32-39页 |
| 2.2.2 斜入射绝对检测迭代算法 | 第39-45页 |
| 2.2.3 旋转平均斜入射绝对检测法 | 第45-53页 |
| 2.3 仿真小结 | 第53页 |
| 2.4 本章小结 | 第53-55页 |
| 3 平面绝对检测实验研究 | 第55-77页 |
| 3.1 波面位相检测技术 | 第55-58页 |
| 3.1.1 不同环境条件引入的测量偏差 | 第55-58页 |
| 3.1.2 波面表征精度指标 | 第58页 |
| 3.2 实测实验 | 第58-71页 |
| 3.2.1 N位旋转绝对检测 | 第58-67页 |
| 3.2.2 斜入射绝对检测 | 第67-71页 |
| 3.3 实验结果对比 | 第71-76页 |
| 3.3.1 绝对测量检测实验结果对比 | 第71-72页 |
| 3.3.2 三平板互检法对比实验 | 第72-73页 |
| 3.3.3 传统相对测量对比实验 | 第73-74页 |
| 3.3.4 随机误差的影响 | 第74-76页 |
| 3.4 本章小结 | 第76-77页 |
| 4 干涉仪周围环境气流仿真 | 第77-85页 |
| 4.1 模型与数值算法 | 第77-80页 |
| 4.2 干涉腔气流仿真 | 第80-84页 |
| 4.3 本章小结 | 第84-85页 |
| 5 全文总结及展望 | 第85-87页 |
| 5.1 主要研究成果 | 第85页 |
| 5.2 后续工作展望 | 第85-87页 |
| 致谢 | 第87-88页 |
| 参考文献 | 第88-92页 |
| 附录 | 第92页 |
