| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 引言 | 第10-11页 |
| 1 介质阻挡放电及诊断方法 | 第11-15页 |
| ·介质阻挡放电概述 | 第11-13页 |
| ·介质阻挡放电的物理过程 | 第11页 |
| ·介质阻挡放电的应用 | 第11-13页 |
| ·沿面介质阻挡放电 | 第13页 |
| ·等离子体的诊断方法 | 第13-14页 |
| ·研究背景 | 第14-15页 |
| 2 发射光谱简介 | 第15-25页 |
| ·发射光谱的基本原理 | 第15-16页 |
| ·原子光谱 | 第16页 |
| ·跃迁和选择定则 | 第16页 |
| ·谱线强度 | 第16页 |
| ·双原子分子光谱 | 第16-19页 |
| ·双原子分子的能级 | 第17-18页 |
| ·原子分子的谱线结构 | 第18页 |
| ·原子分子跃迁的选择定则 | 第18-19页 |
| ·发射光谱的谱线展宽机制 | 第19-20页 |
| ·发射光谱在等离子体物理诊断中的应用 | 第20-25页 |
| ·物种的鉴定 | 第20页 |
| ·等离子体的电子温度、电子密度的测定 | 第20-21页 |
| ·等离子体电子激发温度的测定 | 第21-22页 |
| ·等离子体振动温度的测定 | 第22-23页 |
| ·等离子体气体温度的测定 | 第23-24页 |
| ·等离子体中粒子浓度的测定——内标法(Optical Actinometry) | 第24-25页 |
| 3 实验装置和实验方法 | 第25-29页 |
| ·实验装置 | 第25-27页 |
| ·实验装置图 | 第25页 |
| ·电极结构 | 第25-26页 |
| ·发射光谱诊断系统 | 第26-27页 |
| ·电压-电流波形及功率测定 | 第27-29页 |
| ·电压-电流波形及功率测定示意图 | 第27页 |
| ·放电功率测量原理 | 第27-29页 |
| 4 Ar沿面介质阻挡放电的发射光谱分析 | 第29-40页 |
| ·Ar放电的电流电压波形及放电功率 | 第29-30页 |
| ·电流电压波形及放电功率 | 第29-30页 |
| ·放电功率随输入电压的变化 | 第30页 |
| ·发射光谱图及谱线 | 第30-31页 |
| ·大气压Ar沿面介质阻挡放电激发温度的测定 | 第31-35页 |
| ·Ar介质阻挡放电等离子体激发温度随输入电压的变化 | 第32-34页 |
| ·氩气介质阻挡放电等离子体激发温度随气体流量的变化 | 第34-35页 |
| ·大气压Ar沿面介质阻挡放电的气体温度的测定 | 第35-39页 |
| ·Ar等离子体气体温度测定 | 第35-38页 |
| ·转动温度随气体流量的变化 | 第38页 |
| ·转动温度随输入电压的变化 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 5 N_2/Ar沿面介质阻挡放电的发射光谱分析 | 第40-50页 |
| ·N_2/Ar等离子体发射光谱图 | 第40-41页 |
| ·N_2含量对N_2/Ar等离子体的影响 | 第41-47页 |
| ·N_2含量对谱线强度的影响 | 第41-43页 |
| ·N_2含量对激发温度的影响 | 第43-44页 |
| ·N_2/Ar放电振动温度随放电条件的变化趋势 | 第44-47页 |
| ·小结 | 第47页 |
| ·输入电压对N_2/Ar等离子体的影响 | 第47-49页 |
| ·输入电压对激发温度的影响 | 第47-49页 |
| ·输入电压对振动温度的影响 | 第49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 6 O_2/Ar、O_2/N_2/Ar沿面介质阻挡放电的发射光谱分析 | 第50-60页 |
| ·O_2/Ar沿面介质阻挡放电发射光谱图及谱线强度分析 | 第50页 |
| ·O_2/Ar放电的激发温度测定 | 第50-52页 |
| ·O_2含量对激发温度的影响 | 第50-51页 |
| ·激发温度随输入电压的变化趋势 | 第51-52页 |
| ·O_2/Ar放电中O原子相对浓度分析 | 第52-56页 |
| ·氧原子浓度随O_2含量的变化趋势 | 第53-55页 |
| ·氧原子浓度随输入电压的变化趋势 | 第55-56页 |
| ·O_2 /N_2/Ar放电的发射光谱分析 | 第56-60页 |
| ·O_2含量对激发温度的影响 | 第56-57页 |
| ·O_2含量对振动温度的影响 | 第57页 |
| ·O_2含量对O原子浓度的影响 | 第57-60页 |
| 结论 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-67页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-70页 |
