| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-22页 |
| ·低温离子体的特性及应用 | 第9-15页 |
| ·低温等离子体概述 | 第9-10页 |
| ·低温等离子体中的加热机制 | 第10-11页 |
| ·常见等离子体源 | 第11-15页 |
| ·射频感应耦合等离子体的简介 | 第15-19页 |
| ·感应线圈-天线 | 第16-17页 |
| ·匹配网络 | 第17-18页 |
| ·趋肤层及反常趋肤效应 | 第18-19页 |
| ·射频偏压等离子体的研究现状 | 第19-21页 |
| ·本文的研究目的及安排 | 第21-22页 |
| 2 实验装置及诊断 | 第22-28页 |
| ·实验装置 | 第22-24页 |
| ·诊断系统 | 第24-28页 |
| ·示波器 | 第24-25页 |
| ·朗缪尔探针 | 第25-28页 |
| 3 实验测量结果与分析 | 第28-52页 |
| ·轴向测量 | 第28-34页 |
| ·相同的ICP功率下偏压对等离子体参数轴向分布的影响 | 第28-31页 |
| ·不同ICP功率下偏压对电子密度的轴向分布的影响 | 第31-32页 |
| ·不同气压下偏压对电子密度轴向分布的影响 | 第32-33页 |
| ·本节总结 | 第33-34页 |
| ·径向测量 | 第34-40页 |
| ·基片台距离放电线圈较远时电子密度的径向分布 | 第34-37页 |
| ·基片台距离放电线圈较近时电子密度的径向分布 | 第37-39页 |
| ·本节总结 | 第39-40页 |
| ·定点测量 | 第40-47页 |
| ·强放电情况 | 第40-43页 |
| ·中等强度放电 | 第43-45页 |
| ·弱放电情况 | 第45-46页 |
| ·本节总结 | 第46-47页 |
| ·放电间距变化的定点测量 | 第47-52页 |
| ·电子密度的变化 | 第47-50页 |
| ·电子温度的变化 | 第50页 |
| ·等离子体电势的变化 | 第50-51页 |
| ·本节总结 | 第51-52页 |
| 4 结论 | 第52-53页 |
| 展望 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-61页 |