| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-13页 |
| ·等离子体浸没离子注入 | 第9-11页 |
| ·大气压放电 | 第11-13页 |
| ·介质阻挡放电 | 第11页 |
| ·电晕放电 | 第11-13页 |
| 2 PIC-MCC模型介绍 | 第13-26页 |
| ·粒子模拟方法回顾 | 第13页 |
| ·模型介绍 | 第13-24页 |
| ·模拟初始化 | 第14-15页 |
| ·电荷密度统计 | 第15-17页 |
| ·求解电势和电场 | 第17-18页 |
| ·带电粒子在电场中的运动 | 第18-19页 |
| ·蒙特卡罗碰撞(MCC) | 第19-23页 |
| ·碰撞截面 | 第23-24页 |
| ·模型稳定性 | 第24页 |
| ·模型流程图 | 第24-26页 |
| 3 PIC-MCC研究等离子浸没离子注入(PIII) | 第26-41页 |
| ·研究背景介绍 | 第26-27页 |
| ·PIII基本物理过程 | 第26页 |
| ·PIII研究模型介绍及研究进展 | 第26-27页 |
| ·研究工作及意义 | 第27-28页 |
| ·模型简介 | 第28-30页 |
| ·模拟结果及讨论 | 第30-40页 |
| ·PIII等离子体特性 | 第30-36页 |
| ·不同脉冲上升沿的影响 | 第36-40页 |
| ·小结 | 第40-41页 |
| 4 PIC-MCC模拟纳秒脉冲介质阻挡放电(DBD) | 第41-51页 |
| ·研究背景介绍 | 第41-42页 |
| ·介质阻挡放电的物理过程 | 第41-42页 |
| ·介质阻挡放电特性 | 第42页 |
| ·研究工作及意义 | 第42页 |
| ·模型简介 | 第42-44页 |
| ·模拟结果及讨论 | 第44-50页 |
| ·小结 | 第50-51页 |
| 5 PIC-MCC模拟纳秒脉冲针板放电 | 第51-62页 |
| ·研究背景介绍 | 第51页 |
| ·研究工作及意义 | 第51-52页 |
| ·模型简介 | 第52-54页 |
| ·模拟结果及讨论 | 第54-61页 |
| ·放电特性研究 | 第54-57页 |
| ·针尖半径效应 | 第57-58页 |
| ·放电模式转换 | 第58-61页 |
| ·小结 | 第61-62页 |
| 结论 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-70页 |
| 附录A 动态权重法 | 第70-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-76页 |