大泄漏率真空系统气压控制技术研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 气体压力控制技术国内外研究现状 | 第11-17页 |
| 1.2.1 气压控制技术的国外研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.2 气压控制技术的国内研究现状 | 第13-15页 |
| 1.2.3 气压控制技术的发展趋势 | 第15-17页 |
| 1.3 课题研究目的和内容 | 第17-19页 |
| 2 大泄漏率真空系统整体设计 | 第19-35页 |
| 2.1 大泄漏率真空系统分析 | 第20-21页 |
| 2.1.1 真空密封系统简介 | 第20页 |
| 2.1.2 大泄漏率真空系统特性 | 第20-21页 |
| 2.2 大泄漏率真空系统设计方案 | 第21-27页 |
| 2.2.1 大泄漏率真空系统整体设计方案 | 第22页 |
| 2.2.2 炉体设计 | 第22-27页 |
| 2.3 大泄漏率系统密封结构设计 | 第27-30页 |
| 2.3.1 专用法兰密封结构设计 | 第27-28页 |
| 2.3.2 密封机构安装顺序 | 第28-29页 |
| 2.3.3 导线密封效果分析 | 第29-30页 |
| 2.4 系统气路方案设计 | 第30-33页 |
| 2.4.1 真空系统泵组抽速计算 | 第30-31页 |
| 2.4.2 真空泵组的选择 | 第31-33页 |
| 2.5 本章小结 | 第33-35页 |
| 3 大泄漏率真空系统数学模型建立 | 第35-46页 |
| 3.1 系统建模基础 | 第35-36页 |
| 3.2 系统抽气模型建立 | 第36-39页 |
| 3.3 系统泄漏和放气模型建立 | 第39-40页 |
| 3.3.1 系统漏气模型 | 第39-40页 |
| 3.3.2 系统放气模型 | 第40页 |
| 3.4 真空系统整体模型建立 | 第40-45页 |
| 3.4.1 系统漏率 | 第41-42页 |
| 3.4.2 大泄漏率真空系统抽放气模型 | 第42-45页 |
| 3.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 4 大泄漏真空系统控制方案设计 | 第46-61页 |
| 4.1 气压控制方案简介 | 第46-50页 |
| 4.1.1 常用气压控制方法简介 | 第46-48页 |
| 4.1.2 多模气压控制方法 | 第48-50页 |
| 4.2 大泄漏率真空系统气压控制方案设计 | 第50-60页 |
| 4.2.1 气压控制系统基础模型搭建 | 第50-52页 |
| 4.2.2 气压控制系统控制器设计 | 第52-55页 |
| 4.2.3 气压控制方法仿真分析 | 第55-60页 |
| 4.3 本章小结 | 第60-61页 |
| 5 真空实验测试 | 第61-67页 |
| 5.1 实验设备简介 | 第61-64页 |
| 5.1.1 真空系统组成 | 第61-63页 |
| 5.1.2 实验设备 | 第63-64页 |
| 5.2 系统抽气实验 | 第64-65页 |
| 5.3 气压控制实验 | 第65-66页 |
| 5.4 本章小结 | 第66-67页 |
| 6 结论与展望 | 第67-69页 |
| 6.1 本文主要结论 | 第67-68页 |
| 6.2 展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
