| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-27页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 压电式快速控制反射镜研究现状 | 第9-15页 |
| 1.3 快速控制反射镜偏转角度测量研究现状 | 第15-24页 |
| 1.3.1 基于面形精度的角度测量 | 第16-19页 |
| 1.3.2 基于镜面角位移的角度测量 | 第19-24页 |
| 1.4 本文的研究目的和主要内容 | 第24-25页 |
| 1.4.1 研究目的 | 第24页 |
| 1.4.2 研究内容 | 第24-25页 |
| 1.5 全文安排 | 第25-27页 |
| 2 大角度压电式快速控制反射镜的设计原理与系统 | 第27-33页 |
| 2.1 引言 | 第27页 |
| 2.2 工作原理 | 第27页 |
| 2.3 系统组成 | 第27-31页 |
| 2.3.1 执行机构 | 第28-30页 |
| 2.3.2 驱动电路 | 第30-31页 |
| 2.3.3 控制器 | 第31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-33页 |
| 3 大角度压电式快速控制反射镜偏转角度测量原理与系统 | 第33-47页 |
| 3.1 引言 | 第33-34页 |
| 3.2 工作原理 | 第34-35页 |
| 3.3 系统组成 | 第35-41页 |
| 3.3.1 硬件模块 | 第35-39页 |
| 3.3.2 软件模块 | 第39-41页 |
| 3.4 特性分析 | 第41-45页 |
| 3.4.1 角度测量范围 | 第41-42页 |
| 3.4.2 分辨力 | 第42页 |
| 3.4.3 误差分析 | 第42-45页 |
| 3.5 本章小结 | 第45-47页 |
| 4 系统设计与实现 | 第47-61页 |
| 4.1 引言 | 第47页 |
| 4.2 光路设计 | 第47-53页 |
| 4.3 电路设计 | 第53-56页 |
| 4.3.1 PSD信号处理电路 | 第53-56页 |
| 4.3.2 数据采集 | 第56页 |
| 4.4 软件设计 | 第56-58页 |
| 4.5 本章小结 | 第58-61页 |
| 5 测试及结果分析 | 第61-71页 |
| 5.1 引言 | 第61页 |
| 5.2 测试原理 | 第61-62页 |
| 5.2.1 位置敏感探测器PSD线性度测试原理 | 第61页 |
| 5.2.2 大角度快速控制反射镜偏转角度测量系统测试原理 | 第61-62页 |
| 5.3 测试系统及装置 | 第62-64页 |
| 5.3.1 位置敏感探测器PSD线性度测试系统及装置 | 第62-63页 |
| 5.3.2 大角度压电式快速控制反射镜偏转角度测量测试系统及装置 | 第63-64页 |
| 5.4 测试结果及分析 | 第64-70页 |
| 5.4.1 位置敏感探测器PSD线性度测试结果及分析 | 第64-65页 |
| 5.4.2 大角度压电式快速控制反射镜偏转角度测量结果及分析 | 第65-69页 |
| 5.4.3 测量结果误差分析 | 第69-70页 |
| 5.5 本章小结 | 第70-71页 |
| 6 全文总结与展望 | 第71-73页 |
| 6.1 本文主要研究工作 | 第71-72页 |
| 6.2 本文的贡献与创新点 | 第72页 |
| 6.3 后续工作及展望 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-81页 |
| 附录 | 第81页 |
| A. 作者在攻读硕士学位期间发表的论文 | 第81页 |
| B. 作者在攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第81页 |
| C. 作者在攻读硕士学位期间其他相关工作 | 第81页 |
