基于LabVIEW的微分干涉检测系统研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-13页 |
| 1.1 课题研究的背景和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 光学形貌检测方法概述 | 第9-11页 |
| 1.3 机器视觉技术与LabVIEW | 第11-12页 |
| 1.4 本论文主要研究内容 | 第12-13页 |
| 第2章 微分干涉检测系统的光学原理与构成 | 第13-21页 |
| 2.1 微分干涉成像部分 | 第13-17页 |
| 2.1.1 单轴晶体 | 第13-14页 |
| 2.1.2 偏振移相器 | 第14-17页 |
| 2.1.3 微分干涉成像系统构成 | 第17页 |
| 2.2 光源照明部分 | 第17-19页 |
| 2.3 检测系统整体的光学结构 | 第19-20页 |
| 2.4 本章小结 | 第20-21页 |
| 第3章 基于LabVIEW的图像采集与运动控制 | 第21-39页 |
| 3.1 引言 | 第21页 |
| 3.2 采集控制系统的硬件基础 | 第21-30页 |
| 3.2.1 工业相机的选取 | 第21-24页 |
| 3.2.2 步进电机与移相器 | 第24-25页 |
| 3.2.3 交流伺服系统与平移台 | 第25-30页 |
| 3.3 图像采集与运动控制程序 | 第30-38页 |
| 3.3.1 串口通信与VISA | 第30-33页 |
| 3.3.2 图像采集与VISION | 第33-36页 |
| 3.3.3 交互界面显示 | 第36-38页 |
| 3.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 第 4章 图像处理算法及实现 | 第39-47页 |
| 4.1 图像的预处理 | 第39-40页 |
| 4.2 干涉光强图的相位提取方法 | 第40-42页 |
| 4.3 形貌恢复算法 | 第42-44页 |
| 4.4 算法程序的设计 | 第44-46页 |
| 4.5 本章小结 | 第46-47页 |
| 第5章 测量结果分析与系统评价 | 第47-57页 |
| 5.1 系统调试与测量 | 第47-48页 |
| 5.2 样品形貌分析 | 第48-54页 |
| 5.2.1 晶圆片形貌分析 | 第48-52页 |
| 5.2.2 光学元件的形貌分析 | 第52-54页 |
| 5.2.3 计算样品粗糙度 | 第54页 |
| 5.3 系统分辨率与纵向测量范围 | 第54-55页 |
| 5.4 测量系统中的误差分析 | 第55-56页 |
| 5.5 系统其他性能 | 第56页 |
| 5.6 本章小结 | 第56-57页 |
| 结论 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-64页 |
| 致谢 | 第64页 |
