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基于MgO衬底上的MgB2薄膜的制备和性质的研究

摘要第5-6页
Abstract第6页
第1章 绪论第11-23页
    1.1 超导的基本概念第11-12页
    1.2 MgB_2超导体第12-19页
        1.2.1 MgB_2晶体结构第12-13页
        1.2.2 MgB_2的能级结构第13-15页
        1.2.3 MgB_2同位素效应第15-16页
        1.2.4 MgB_2上临界磁场H_(C2)(T)第16-17页
        1.2.5 MgB_2临界电流密度J_C第17-19页
    1.3 MgB_2的研究背景与现状第19-21页
        1.3.1 MgB_2的研究背景第19-20页
        1.3.2 MgB_2的研究现状第20-21页
    1.4 MgB_2的应用优势第21-22页
    1.5 本章小结第22-23页
第2章 制备MgB_2薄膜的实验仪器介绍第23-26页
    2.1 X射线衍射仪(XRD)第23页
    2.2 电学磁学性质测量系统第23-24页
    2.3 扫描电子显微镜第24-25页
    2.4 膜厚的测量第25页
    2.5 本章小结第25-26页
第3章 HPCVD方法制备MgB_2超导薄膜样品第26-36页
    3.1 HPCVD方法制备MgB_2薄膜实验装置第27-31页
    3.2 HPCVD方法中影响MgB_2薄膜质量的因素第31-34页
        3.2.1 Mg源第31-32页
        3.2.2 反应舱第32页
        3.2.3 气体的纯度第32页
        3.2.4 温度的控制第32-34页
        3.2.5 衬底第34页
        3.2.6 载气第34页
        3.2.7 系统总压强第34页
    3.3 HPCVD方法中影响沉积速率的因素第34-35页
        3.3.1 B_2H_6的流量与浓度第34-35页
        3.3.2 沉积温度第35页
        3.3.3 气体流速第35页
        3.3.4 载气的流量第35页
    3.4 本章小结第35-36页
第4章 HPCVD方法制备MgB_2超导薄膜的性质研究第36-52页
    4.1 HPCVD法制备MgB_2薄膜的实验步骤第36-38页
        4.1.1 准备工作第36-37页
        4.1.2 反应与沉积第37页
        4.1.3 保存和清理第37-38页
        4.1.4 基本参数第38页
    4.2 在不同实验参数下制备MgB_2薄膜的性质研究第38-46页
        4.2.1 改变反应舱的背景压强第38-41页
        4.2.2 改变反应温度第41-43页
        4.2.3 改变B_2H_6的流量第43-44页
        4.2.4 改变沉积时间第44-46页
        4.2.5 本节小结第46页
    4.3 在MgO衬底上制备MgB_2薄膜性质的研究第46-52页
        4.3.1 实验过程与实验条件第46-47页
        4.3.2 结果分析与讨论第47-51页
        4.3.3 本节小结第51-52页
第5章 结论和展望第52-54页
    5.1 总结第52页
    5.2 展望第52-54页
参考文献第54-57页
攻读硕士学位期间发表的论文第57-58页
致谢第58页

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