| 中文摘要 | 第2-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-31页 |
| 1.1 引言 | 第8页 |
| 1.2 压电材料 | 第8-13页 |
| 1.2.1 压电材料的基本概念 | 第8-9页 |
| 1.2.2 压电材料的铁电体 | 第9-13页 |
| 1.3 压电薄膜 | 第13-15页 |
| 1.3.1 压电薄膜的基本概念 | 第13页 |
| 1.3.2 压电薄膜的应用 | 第13-15页 |
| 1.4 压电薄膜的微观结构 | 第15-17页 |
| 1.4.1 压电薄膜的晶体结构 | 第15页 |
| 1.4.2 压电薄膜的电畴 | 第15-17页 |
| 1.4.3 压电薄膜的厚度 | 第17页 |
| 1.5 压电薄膜的性能 | 第17-21页 |
| 1.5.1 压电薄膜的一般参数 | 第18-19页 |
| 1.5.2 压电薄膜的铁电相变 | 第19-20页 |
| 1.5.3 压电薄膜的压电响应 | 第20页 |
| 1.5.4 压电薄膜的缓冲层 | 第20-21页 |
| 1.6 PZT压电薄膜 | 第21-23页 |
| 1.7 Bi(Me)O_3-PbTiO_3体系研究现状 | 第23-24页 |
| 1.8 本论文的研究目标和内容 | 第24-25页 |
| 1.8.1 本论文的研究目标 | 第24页 |
| 1.8.2 本论文的研究内容 | 第24-25页 |
| 参考文献 | 第25-31页 |
| 第二章 样品制备和表征测试方法 | 第31-38页 |
| 2.1 样品的制备 | 第31-34页 |
| 2.1.1 固相烧结法 | 第31-32页 |
| 2.1.2 溶胶-凝胶法 | 第32页 |
| 2.1.3 脉冲激光法制备薄膜 | 第32-34页 |
| 2.2 表征测试方法 | 第34-37页 |
| 2.2.1 XRD物相分析 | 第34-35页 |
| 2.2.2 FE-SEM场发射扫描电镜 | 第35页 |
| 2.2.3 铁电测量 | 第35-36页 |
| 2.2.4 压电测量 | 第36-37页 |
| 2.2.5 介电测量 | 第37页 |
| 参考文献 | 第37-38页 |
| 第三章 PLD法制备高温压电薄膜0.20BiInO_3-0.80PbTiO_3 | 第38-49页 |
| 3.1 引言 | 第38-39页 |
| 3.2 样品的制备及性能表征方法 | 第39页 |
| 3.3 测试结果及分析 | 第39-47页 |
| 3.3.1 XRD晶体结构分析 | 第39-40页 |
| 3.3.2 薄膜的表面形貌和断面图 | 第40-41页 |
| 3.3.3 铁电性能和横向压电系数 | 第41-42页 |
| 3.3.4 介电性能 | 第42-44页 |
| 3.3.5 介电非线性分析 | 第44-47页 |
| 3.4 本章小结 | 第47页 |
| 参考文献 | 第47-49页 |
| 第四章 高温压电薄膜xBiInO_3-(1-x)PbTiO_3的性能研究 | 第49-61页 |
| 4.1 引言 | 第49-50页 |
| 4.2 样品的制备及性能表征方法 | 第50页 |
| 4.3 测试结果及分析 | 第50-58页 |
| 4.3.1 XRD晶体结构分析 | 第51-52页 |
| 4.3.2 薄膜的表面形貌和断面图 | 第52-54页 |
| 4.3.3 铁电性能和横向压电系数 | 第54-55页 |
| 4.3.4 介电性能 | 第55-56页 |
| 4.3.5 介电非线性分析 | 第56-58页 |
| 4.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-61页 |
| 第五章 工作总结和研究展望 | 第61-63页 |
| 5.1 工作总结 | 第61-62页 |
| 5.2 后续工作展望 | 第62-63页 |
| 硕士期间已发表文章 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
