| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 引言 | 第7-10页 |
| ·背景 | 第7-8页 |
| ·EBIT工作原理 | 第8-9页 |
| ·论文框架简介 | 第9-10页 |
| 第二章 上海EBIT光谱学实验平台 | 第10-19页 |
| ·Mcpherson NOVA 225型真空紫外单色仪简介 | 第10-12页 |
| ·平焦场谱仪简介 | 第12-19页 |
| ·变栅距光栅 | 第12-13页 |
| ·从光程函数出发设计变栅距光栅的过程 | 第13-16页 |
| ·上海EBIT平焦场谱仪及控制系统简介 | 第16-19页 |
| ·谱仪系统的技术指标 | 第16页 |
| ·谱仪系统的设备构成 | 第16-19页 |
| 第三章 光学模拟软件简介 | 第19-21页 |
| ·光学设计软件ZEMAX简介 | 第19-20页 |
| ·光学设计软件BRAY简介 | 第20-21页 |
| 第四章 上海EBIT光谱仪器的模拟及调试 | 第21-36页 |
| ·Mcpherson NOVA 225型真空紫外单色仪的超环面镜设计 | 第21-23页 |
| ·平焦场谱仪的光学模拟 | 第23-25页 |
| ·变栅距光栅刻制参数的计算 | 第23-24页 |
| ·平焦场谱仪的光学模拟 | 第24-25页 |
| ·平焦场谱仪的离线校刻 | 第25-33页 |
| ·平焦场谱仪校刻Ⅰ | 第25-26页 |
| ·平焦场谱仪校刻Ⅱ | 第26-30页 |
| ·平焦场谱仪校刻Ⅲ | 第30-31页 |
| ·平焦场谱仪校刻Ⅳ | 第31-33页 |
| ·平焦场谱仪新的校刻方法 | 第33-36页 |
| 第五章 论文小结 | 第36-37页 |
| 附录 | 第37-53页 |
| 附录一 上海EBIT球面镜图纸 | 第37-38页 |
| 附录二 上海EBIT超环面镜图纸 | 第38-39页 |
| 附录三 上海EBIT超环面镜研制与检测报告 | 第39-45页 |
| 附录四 Bray程序输入文件详解 | 第45-53页 |
| 发表及投稿文章 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-59页 |
| 致谢 | 第59-61页 |