| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 类金刚石薄膜的结构组成、性能及应用 | 第11-13页 |
| 1.1.1 类金刚石薄膜的结构组成 | 第11页 |
| 1.1.2 类金刚石薄膜的性能及应用 | 第11-13页 |
| 1.2 类金刚石薄膜的制备方法 | 第13-16页 |
| 1.3 类金刚石薄膜的摩擦学性能影响因素 | 第16-18页 |
| 1.4 论文的选题依据及研究内容 | 第18-20页 |
| 第二章 类金刚石薄膜的制备、表征与测试 | 第20-28页 |
| 2.1 射频磁控溅射原理与设备 | 第20-22页 |
| 2.2 薄膜制备工艺 | 第22-23页 |
| 2.3 薄膜的结构与性能表征 | 第23-28页 |
| 2.3.1 薄膜结构分析 | 第23-25页 |
| 2.3.2 薄膜表面形貌分析 | 第25页 |
| 2.3.3 薄膜力学性能分析 | 第25页 |
| 2.3.4 薄膜摩擦学性能分析 | 第25-28页 |
| 第三章Si/DLC薄膜的制备、结构及其摩擦学性能研究 | 第28-42页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 实验仪器及材料 | 第28-29页 |
| 3.3 Si/DLC薄膜的制备 | 第29页 |
| 3.4 结果与讨论 | 第29-39页 |
| 3.4.1 薄膜的XPS分析 | 第29-31页 |
| 3.4.2 薄膜的Raman分析 | 第31-33页 |
| 3.4.3 薄膜的FT-IR分析 | 第33-34页 |
| 3.4.4 薄膜的AFM分析 | 第34页 |
| 3.4.5 薄膜的力学性能 | 第34-36页 |
| 3.4.6 薄膜在酸雨模拟液中的摩擦学性能 | 第36-39页 |
| 3.5 本章小结 | 第39-42页 |
| 第四章Si(Ag)/DLC薄膜的制备、结构及其摩擦学性能研究 | 第42-58页 |
| 4.1 引言 | 第42页 |
| 4.2 实验仪器及材料 | 第42页 |
| 4.3 Si(Ag)/DLC薄膜的制备 | 第42-43页 |
| 4.4 结果与讨论 | 第43-53页 |
| 4.4.1 薄膜的XPS分析 | 第43-44页 |
| 4.4.2 薄膜的Raman分析 | 第44-45页 |
| 4.4.3 薄膜的XRD分析 | 第45-46页 |
| 4.4.4 薄膜的FT-IR分析 | 第46-47页 |
| 4.4.5 薄膜的AFM分析 | 第47-48页 |
| 4.4.6 薄膜的力学性能 | 第48-49页 |
| 4.4.7 薄膜的摩擦学性能 | 第49-53页 |
| 4.5 不同掺杂的DLC薄膜摩擦学性能 | 第53-54页 |
| 4.6 不同掺杂的DLC薄膜腐蚀性能 | 第54-55页 |
| 4.7 本章小结 | 第55-58页 |
| 第五章Si(Cu)/DLC薄膜的制备、结构及其力学性能研究 | 第58-64页 |
| 5.1 引言 | 第58页 |
| 5.2 实验仪器及材料 | 第58页 |
| 5.3 Si(Cu)/DLC薄膜的制备 | 第58-59页 |
| 5.4 结果与讨论 | 第59-62页 |
| 5.5 本章小结 | 第62-64页 |
| 第六章 结论 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-76页 |
| 致谢 | 第76-78页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第78页 |
