| 中文摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-19页 |
| 1.1 课题研究背景及研究意义 | 第8-9页 |
| 1.2 湿度传感器概述 | 第9-15页 |
| 1.2.1 湿度传感器的特征参数 | 第11-12页 |
| 1.2.2 湿度传感器的研究现状 | 第12-14页 |
| 1.2.3 纳米硅孔柱研究现状 | 第14-15页 |
| 1.3 SnO_2纳米材料 | 第15-16页 |
| 1.3.1 SnO_2简介 | 第15页 |
| 1.3.2 SnO_2湿敏性能的研究现状 | 第15-16页 |
| 1.4 TiO_2纳米材料 | 第16-18页 |
| 1.4.1 TiO_2简介 | 第16-17页 |
| 1.4.2 TiO_2湿敏性能的研究现状 | 第17-18页 |
| 1.5 论文研究的主要内容 | 第18-19页 |
| 第2章 Si-NPA的制备及形貌表征 | 第19-29页 |
| 2.1 Si-NPA形成机理 | 第19-20页 |
| 2.2 Si-NPA的制备过程 | 第20-23页 |
| 2.2.1 主要试剂和仪器 | 第20页 |
| 2.2.2 Si-NPA的制备过程 | 第20-23页 |
| 2.3 Si-NPA的形貌表征 | 第23-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 敏感元件的制备 | 第29-37页 |
| 3.1 溶胶-凝胶法制备薄膜 | 第29-32页 |
| 3.1.1 主要试剂和仪器 | 第29-30页 |
| 3.1.2 薄膜的制备 | 第30-31页 |
| 3.1.3 预热处理及高温退火 | 第31-32页 |
| 3.1.4 溶胶-凝胶法制备样品表征 | 第32页 |
| 3.2 电极制备 | 第32-34页 |
| 3.3 样品SnO_2-TiO_2的XRD及EDS分析 | 第34-36页 |
| 3.4 本章小结 | 第36-37页 |
| 第4章 湿敏元件的特性测试与分析 | 第37-54页 |
| 4.1 湿度传感器原理 | 第37页 |
| 4.2 湿敏测试系统搭建 | 第37-38页 |
| 4.3 SnO_2-TiO_2/Si-NPA元件的湿敏特性测试与分析 | 第38-53页 |
| 4.3.1 电容特性响应曲线 | 第38-42页 |
| 4.3.2 灵敏度测试 | 第42-45页 |
| 4.3.3 响应恢复时间测试 | 第45-47页 |
| 4.3.4 重复性测试 | 第47-50页 |
| 4.3.5 迟滞测试 | 第50-53页 |
| 4.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-62页 |
| 致谢 | 第62页 |