| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-17页 |
| 1.1 课题研究的目的和意义 | 第8-10页 |
| 1.2 国内外研究及发展现状 | 第10-16页 |
| 1.2.1 微透镜阵列制造技术国内外研究现状及分析 | 第10-12页 |
| 1.2.2 超精密机械加工技术国内外研究现状及分析 | 第12-15页 |
| 1.2.3 表面形貌检测技术国内外研究现状及分析 | 第15-16页 |
| 1.3 课题研究的主要内容 | 第16-17页 |
| 第2章 微透镜阵列切削轨迹规划 | 第17-34页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 微透镜阵列表面形貌数学建模 | 第17-25页 |
| 2.2.1 矩形排布的平面微透镜阵列 | 第17-19页 |
| 2.2.2 六边形排布的平面微透镜阵列 | 第19-20页 |
| 2.2.3 环形排布曲面微透镜阵列表面形貌数学建模 | 第20-22页 |
| 2.2.4 蜂巢状排布曲面微透镜阵列表面形貌数学建模 | 第22-25页 |
| 2.3 微透镜阵列切削轨迹生成算法 | 第25-31页 |
| 2.3.1 刀具轨迹生成算法原理 | 第25-26页 |
| 2.3.2 等角度插补的刀具轨迹生成 | 第26-27页 |
| 2.3.3 等弧长插补的刀具轨迹生成 | 第27-28页 |
| 2.3.4 弦差限制插补的刀具轨迹生成 | 第28-31页 |
| 2.4 切削轨迹的刀尖圆弧半径补偿 | 第31-33页 |
| 2.4.1 常用的刀尖圆弧半径补偿 | 第31-32页 |
| 2.4.2 针对球面的刀尖圆弧半径 | 第32-33页 |
| 2.5 本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 微透镜阵列切削刀具参数选择及表面形貌预测 | 第34-51页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 金刚石车刀几何参数选择 | 第34-37页 |
| 3.3 微透镜阵列加工形貌预测 | 第37-41页 |
| 3.3.1 刀尖二维轮廓模型 | 第37-38页 |
| 3.3.2 形貌预测模型 | 第38-39页 |
| 3.3.3 预测表面形貌评价 | 第39-41页 |
| 3.4 加工精度影响因素分析 | 第41-50页 |
| 3.4.1 刀尖圆弧半径补偿对精度的影响 | 第41-44页 |
| 3.4.2 X导轨进给率对精度的影响 | 第44-46页 |
| 3.4.3 中心对刀误差对精度的影响 | 第46-50页 |
| 3.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 第4章 超精密切削加工微透镜阵列实验及检测 | 第51-66页 |
| 4.1 引言 | 第51页 |
| 4.2 超精密车削实验 | 第51-57页 |
| 4.2.1 加工实验设备 | 第51页 |
| 4.2.2 加工对刀 | 第51-54页 |
| 4.2.3 试切加工实验 | 第54-55页 |
| 4.2.4 平面及曲面阵列工艺过程及加工实验 | 第55-57页 |
| 4.3 加工结果检测 | 第57-65页 |
| 4.3.1 轮廓仪二维轮廓检测 | 第57-62页 |
| 4.3.2 共聚焦显微镜三维形貌检测 | 第62-64页 |
| 4.3.3 加工结果分析 | 第64-65页 |
| 4.4 本章小结 | 第65-66页 |
| 结论 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
