| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 1 绪论 | 第10-21页 |
| 1.1 MEMS技术概述 | 第10-12页 |
| 1.2 微型平面弹簧技术国内外发展现状 | 第12-16页 |
| 1.2.1 微型平面弹簧简介 | 第12-13页 |
| 1.2.2 微型平面弹簧理论研究现状 | 第13-14页 |
| 1.2.3 微型平面弹簧加工方法 | 第14-16页 |
| 1.3 精密蚀刻技术简介 | 第16-18页 |
| 1.3.1 光刻 | 第16-17页 |
| 1.3.2 金属蚀刻 | 第17-18页 |
| 1.4 课题研究目的、意义和研究内容 | 第18-21页 |
| 1.4.1 研究目的与意义 | 第18页 |
| 1.4.2 精密蚀刻技术制备微型平面弹簧的优势 | 第18-19页 |
| 1.4.3 研究内容 | 第19-21页 |
| 2 实验材料与方法 | 第21-33页 |
| 2.1 实验材料 | 第21-24页 |
| 2.1.1 坯料的选择 | 第21页 |
| 2.1.2 光刻胶的选择 | 第21页 |
| 2.1.3 掩模的设计与制作 | 第21-22页 |
| 2.1.4 蚀刻液的选择 | 第22-24页 |
| 2.2 实验方案 | 第24页 |
| 2.3 精密蚀刻实验 | 第24-27页 |
| 2.3.1 基板制备 | 第24-25页 |
| 2.3.2 光刻过程 | 第25-26页 |
| 2.3.3 蚀刻过程 | 第26-27页 |
| 2.3.4 微弹簧存放 | 第27页 |
| 2.4 微型平面弹簧表观质量检测 | 第27-28页 |
| 2.4.1 表面粗糙度检测 | 第27-28页 |
| 2.4.2 表面形貌检测 | 第28页 |
| 2.4.3 微弹簧线宽测量 | 第28页 |
| 2.5 微观组织观察 | 第28-29页 |
| 2.6 坯料及微型平面弹簧力学性能测试 | 第29-33页 |
| 2.6.1 轧制实验 | 第29页 |
| 2.6.2 轧制T2紫铜单向拉伸实验 | 第29-30页 |
| 2.6.3 微型平面弹簧力学性能测试平台 | 第30-31页 |
| 2.6.4 微型平面弹簧弹性系数和疲劳寿命测试 | 第31-33页 |
| 3 T2紫铜室温力学性能研究 | 第33-48页 |
| 3.1 轧制对T2紫铜微观组织影响 | 第33-34页 |
| 3.2 轧制T2紫铜单向拉伸实验结果及分析 | 第34-46页 |
| 3.2.1 轧制T2紫铜单向拉伸实验结果 | 第34-36页 |
| 3.2.2 轧制T2紫铜拉伸屈服强度的尺寸效应 | 第36-39页 |
| 3.2.3 轧制T2紫铜拉伸屈服强度的尺寸效应模型 | 第39-42页 |
| 3.2.4 轧制T2紫铜拉伸屈服强度各向异性 | 第42-44页 |
| 3.2.5 轧制T2紫铜拉伸断口分析 | 第44-46页 |
| 3.3 本章小结 | 第46-48页 |
| 4 T2紫铜微型平面弹簧精密蚀刻成形质量 | 第48-55页 |
| 4.1 工艺参数对微型平面弹簧线宽精度的影响 | 第48-51页 |
| 4.1.1 配方对微型平面弹簧线宽精度的影响 | 第49页 |
| 4.1.2 压下量对微型平面弹簧线宽精度的影响 | 第49-50页 |
| 4.1.3 蚀刻温度对微型平面弹簧线宽精度的影响 | 第50-51页 |
| 4.1.4 基板厚度对微型平面弹簧线宽精度的影响 | 第51页 |
| 4.1.5 微型平面弹簧最佳线宽精度的制备方案 | 第51页 |
| 4.2 工艺参数对蚀刻侧面粗糙度的影响 | 第51-54页 |
| 4.2.1 配方对蚀刻侧面粗糙度的影响 | 第52-53页 |
| 4.2.2 压下量对蚀刻侧面粗糙度的影响 | 第53页 |
| 4.2.3 蚀刻温度对蚀刻侧面粗糙度的影响 | 第53-54页 |
| 4.2.4 基板厚度对蚀刻侧面粗糙度的影响 | 第54页 |
| 4.2.5 微型平面弹簧蚀刻侧面最小粗糙度的制备方案 | 第54页 |
| 4.3 本章小结 | 第54-55页 |
| 5 T2紫铜微型平面弹簧力学性能 | 第55-66页 |
| 5.1 T2紫铜微型平面弹簧的弹性刚度分析 | 第55-59页 |
| 5.1.1 厚度对T2紫铜微型平面弹簧的弹性刚度的影响 | 第55-57页 |
| 5.1.2 轧制压下量对T2紫铜微型平面弹簧的弹性刚度的影响 | 第57-58页 |
| 5.1.3 T2紫铜微型平面弹簧的弹性刚度的各向异性 | 第58-59页 |
| 5.2 T2紫铜微型平面弹簧疲劳性能分析 | 第59-64页 |
| 5.2.1 T2紫铜微型平面弹簧疲劳性能实验结果 | 第59-63页 |
| 5.2.2 配方对微型平面弹簧疲劳性能的影响 | 第63页 |
| 5.2.3 压下量对微型平面弹簧疲劳性能的影响 | 第63-64页 |
| 5.2.4 蚀刻温度对微型平面弹簧疲劳性能的影响 | 第64页 |
| 5.2.5 厚度对微型平面弹簧疲劳性能的影响 | 第64页 |
| 5.2.6 疲劳试验最佳工艺参数方案 | 第64页 |
| 5.3 本章小结 | 第64-66页 |
| 6 结论 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 附录 | 第72页 |
