硅片检测运动台的设计和研究

摘要	第4-5页
Abstract	第5页
1 绪论	第8-18页
1.1 课题的来源	第8页
1.2 课题研究目的及意义	第8-9页
1.3 国内外研究现状	第9-16页
1.4 本文主要研究内容及章节安排	第16-18页
2 硅片检测运动平台总体设计	第18-33页
2.1 设计要求和技术参数	第18-22页
2.2 机械结构总体设计	第22-29页
2.3 驱动控制系统总体设计	第29-32页
2.4 本章小结	第32-33页
3 直线运动平台的机械系统设计	第33-42页
3.1 驱动装置的选择	第33-37页
3.2 导轨选择与校核	第37-39页
3.3 结构设计和技术参数	第39-41页
3.4 本章小结	第41-42页
4 直线运动平台控制系统设计	第42-59页
4.1 PMLSM 的矢量控制原理	第42-50页
4.2 控制系统仿真分析	第50-53页
4.3 控制系统的搭建和实现	第53-58页
4.4 本章小结	第58-59页
5 实验结果及分析	第59-65页
5.1 实验装置和方法	第59-61页
5.2 实验结果分析	第61-64页
5.3 本章小结	第64-65页
6 全文总结与展望	第65-66页
6.1 全文总结	第65页
6.2 研究展望	第65-66页
致谢	第66-67页
参考文献	第67-70页
附录 攻读学位期间发表学术论文目录	第70页