硅基MEMS二维生物微探针阵列技术研究
| 第1 章 引言 | 第7-23页 |
| 1.1 MEMS 技术发展概述 | 第7-13页 |
| 1.1.1 MEMS 技术的产生和发展 | 第7-9页 |
| 1.1.2 MEMS 的制造技术 | 第9-13页 |
| 1.2 脑-机接口技术 | 第13-16页 |
| 1.2.1 脑机接口的技术起源 | 第13-14页 |
| 1.2.2 脑机接口基本理论 | 第14-16页 |
| 1.3 微电极技术 | 第16-21页 |
| 1.3.1 研究背景 | 第16-19页 |
| 1.3.2 微电极概念与分类 | 第19-20页 |
| 1.3.3 MEMS 微电极 | 第20-21页 |
| 1.4 论文研究目的 | 第21-23页 |
| 第2 章 微电极阵列设计 | 第23-35页 |
| 2.1 神经元以及微电极基础 | 第23-31页 |
| 2.1.1 神经系统基础 | 第23-29页 |
| 2.1.2 微电极基础 | 第29-31页 |
| 2.2 微电极和细胞接触模型 | 第31-33页 |
| 2.2.1 电极模型 | 第32页 |
| 2.2.2 细胞膜模型 | 第32页 |
| 2.2.3 介质模型 | 第32-33页 |
| 2.3 微电极阵列设计 | 第33-35页 |
| 第3 章 微电极阵列工艺设计及流水 | 第35-55页 |
| 3.1 工艺准备 | 第35-43页 |
| 3.1.1 湿法刻蚀技术 | 第35-39页 |
| 3.1.2 干法刻蚀技术 | 第39-41页 |
| 3.1.3 微机械薄膜 | 第41-43页 |
| 3.2 微电极阵列工艺制作 | 第43-55页 |
| 3.2.1 工艺流程 | 第43-44页 |
| 3.2.2 版图设计 | 第44-48页 |
| 3.2.3 工艺流水及诊断 | 第48-50页 |
| 3.2.4 流水结果 | 第50页 |
| 3.2.5 工艺改进方案设计 | 第50-55页 |
| 第4 章 微电极阵列封装及测试结果 | 第55-71页 |
| 4.1 微电极阵列封装 | 第55-57页 |
| 4.1.1 铝丝键合 | 第55-56页 |
| 4.1.2 金球焊接 | 第56-57页 |
| 4.2 微电极阵列性能测试 | 第57-71页 |
| 4.2.1 微电极在生理盐水中的阻抗 | 第57-61页 |
| 4.2.2 牛蛙坐骨神经干动作电位的引导和记录 | 第61-71页 |
| 第5 章 总结 | 第71-73页 |
| 5.1 论文工作的主要内容和成果 | 第71-72页 |
| 5.2 对进一步研究工作的想法 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
| 声明 | 第75-76页 |
| 附录A 工艺流程卡 | 第76-78页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第78页 |
