聚合物光波导和阵列波导光栅的基础研究
| 提 要 | 第4-8页 |
| 第一章 前言 | 第8-33页 |
| 1.1 有机聚合物光电子器件的发展 | 第8-11页 |
| 1.2 有机聚合物光电子材料 | 第11-15页 |
| 1.2.1 有机聚合物光电子材料的特点 | 第11-12页 |
| 1.2.2 已报导的有机聚合物波导材料 | 第12-15页 |
| 1.3 有机聚合物材料在光电子技术中的应用 | 第15-18页 |
| 1.4 AWG的发展现状 | 第18-23页 |
| 1.4.1 波分复用技术 | 第18-19页 |
| 1.4.2 阵列波导光栅(AWG)波分复用器简介 | 第19-21页 |
| 1.4.3 无机AWG的进展 | 第21-22页 |
| 1.4.4 聚合物AWG的进展 | 第22-23页 |
| 1.5 本论文的主要工作 | 第23-25页 |
| 参考文献 | 第25-33页 |
| 第二章 聚合物AWG的原理与应用要求 | 第33-52页 |
| 2.1 引言 | 第33页 |
| 2.2 基本原理 | 第33-40页 |
| 2.2.1 光栅方程 | 第36-37页 |
| 2.2.2 角色散方程 | 第37-38页 |
| 2.2.3 自由光谱区 | 第38-39页 |
| 2.2.4 波长分配原理 | 第39-40页 |
| 2.3 基本功能 | 第40-44页 |
| 2.3.1 复用/解复用 | 第40-41页 |
| 2.3.2 波长路由器 | 第41-42页 |
| 2.3.3 光插分复用器 | 第42页 |
| 2.3.4 波长选择开关 | 第42-43页 |
| 2.3.5 多波长光源 | 第43-44页 |
| 2.4 技术性能 | 第44-48页 |
| 2.4.1 偏振特性 | 第44-45页 |
| 2.4.2 损耗特性 | 第45-46页 |
| 2.4.3 波长随温度变化特性 | 第46-47页 |
| 2.4.4 顶部平坦的带通 | 第47页 |
| 2.4.5 像差 | 第47-48页 |
| 2.4.6 与光纤的连接 | 第48页 |
| 2.5 小结 | 第48页 |
| 参考文献 | 第48-52页 |
| 第三章 9×9聚合物AWG的优化设计及偏振特性 | 第52-75页 |
| 3.1 器件参数设计 | 第52-59页 |
| 3.1.1 芯区波导的尺寸 | 第53-54页 |
| 3.1.2 相邻波导间距 | 第54-56页 |
| 3.1.3 器件参数 | 第56-59页 |
| 3.2 光刻版图的设计 | 第59-63页 |
| 3.2.1 弯曲结构 | 第59-60页 |
| 3.2.2 版图 | 第60-63页 |
| 3.3 数值模拟 | 第63-67页 |
| 3.3.1 FSR和(( | 第63-66页 |
| 3.3.2 串扰 | 第66-67页 |
| 3.4 偏振特性 | 第67-73页 |
| 3.4.1 理论分析 | 第67-68页 |
| 3.4.2 结果及讨论 | 第68-73页 |
| 3.5 小结 | 第73页 |
| 参考文献 | 第73-75页 |
| 第四章 聚合物波导的工艺制备 | 第75-106页 |
| 4.1 引言 | 第75-76页 |
| 4.2 聚合物材料的选择 | 第76-81页 |
| 4.2.1 聚合物的结构表征 | 第78-80页 |
| 4.2.2 聚合物的热性能分析 | 第80页 |
| 4.2.3 聚合物膜层开环反应 | 第80-81页 |
| 4.3 制备聚合物薄膜 | 第81-84页 |
| 4.4 光刻掩模 | 第84-94页 |
| 4.4.1 掩模的选择 | 第84-86页 |
| 4.4.2 铝膜的淀积 | 第86-92页 |
| 4.4.3 光刻 | 第92-94页 |
| 4.5 反应离子刻蚀 | 第94-99页 |
| 4.6 端面处理 | 第99-101页 |
| 4.7 工艺流程 | 第101-102页 |
| 4.8 小结 | 第102-103页 |
| 参考文献 | 第103-106页 |
| 第五章 AWG的测试 | 第106-120页 |
| 5.1 材料特性的测试 | 第106-111页 |
| 5.1.1 折射率测试 | 第106-109页 |
| 5.1.2 材料消光指数的测量 | 第109-110页 |
| 5.1.3 厚度测试 | 第110-111页 |
| 5.2 形貌测试 | 第111-112页 |
| 5.3 器件特性测试 | 第112-119页 |
| 5.3.1 光纤与光波导的耦合原理 | 第113-114页 |
| 5.3.2 光纤拉锥法耦合测试 | 第114-119页 |
| 5.4 小结 | 第119页 |
| 参考文献 | 第119-120页 |
| 结束语 | 第120-121页 |
| 致谢 | 第121-122页 |
| 博士论文期间发表的论文 | 第122-126页 |
| 摘要 | 第126-129页 |
| ABSTRACT | 第129页 |
