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注入产生的Ag纳米颗粒对ZnO薄膜光学性质的影响研究

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第一章 绪论第9-19页
    1.1 研究背景第9页
    1.2 氧化锌的结构与光学性质第9-11页
    1.3 ZnO薄膜的制备方法第11-15页
        1.3.1 磁控溅射技术(Magnetron-Sputtering)第11-13页
        1.3.2 脉冲激光沉积(PLD)第13-14页
        1.3.3 分子束外延(MBE)第14-15页
        1.3.4 溶胶-凝胶法(Sol-Gel)第15页
        1.3.5 化学气相沉积法(CVD)第15页
    1.4 ZnO薄膜的掺杂研究第15-16页
    1.5 金属纳米颗粒的合成与应用第16-17页
    1.6 本论文的选题意义和主要工作第17-19页
第二章 基础理论介绍第19-24页
    2.1 离子注入原理第19-20页
    2.2 Mie理论与M-G理论第20-22页
        2.2.1 Mie理论第20-21页
        2.2.2 M-G理论第21-22页
    2.3 表面等离子体共振(SPR)第22-24页
第三章 样品的制备及测试方法第24-30页
    3.1 样品的制备第24-27页
        3.1.1 Ag离子注入掺杂ZnO薄膜的样品第24-25页
        3.1.2 ZnO-Ag NPs耦合样品第25-27页
    3.2 主要测试方法及原理介绍第27-30页
        3.2.1 荧光光谱测试仪(PL)第27-28页
        3.2.2 紫外-可见分光光度计(UV-Vis)第28页
        3.2.3 掠入射X射线衍射仪(GIXRD)第28-29页
        3.2.4 扫描电子显微镜(SEM)第29-30页
第四章 Ag离子注入掺杂ZnO薄膜的发光性质研究第30-39页
    4.1 ZnO薄膜样品PL与SEM结果与分析第30-32页
    4.2 ZnO薄膜掺杂后的PL结果与分析第32-34页
    4.3 ZnO薄膜掺杂前后的GIXRD结果与分析第34-35页
    4.4 ZnO薄膜掺杂前后的UV-Vis光吸收谱与分析第35-36页
    4.5 退火对掺杂后的ZnO薄膜发光性质影响第36-37页
    4.6 本章小结第37-39页
第五章 ZnO-Ag NPs耦合对ZnO发光性质的影响研究第39-50页
    5.1 PLD制备的ZnO薄膜PL与SEM结果与分析第39-42页
    5.2 基底中注Ag的ZnO薄膜UV-Vis光吸收谱与PL结果与分析第42-46页
    5.3 退火对样品光学性质的影响第46-48页
    5.4 本章小结第48-50页
第六章 总结第50-52页
参考文献第52-58页
发表论文和参加科研情况说明第58-59页
致谢第59-60页

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