| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第10-11页 |
| 1.1.1 课题的来源 | 第10页 |
| 1.1.2 课题研究的背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.1 微电子互连技术现状 | 第11页 |
| 1.2.2 超声楔形键合研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.3 键合工艺优化设计研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 粗铝丝超声楔形键合工艺分析 | 第16-27页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 超声楔形焊接机理分析 | 第16-17页 |
| 2.3 超声楔形焊接的工艺流程 | 第17-19页 |
| 2.3.1 楔形焊工艺技术要求 | 第17页 |
| 2.3.2 楔形焊工艺流程 | 第17-18页 |
| 2.3.3 楔形焊工艺步骤 | 第18-19页 |
| 2.4 超声楔形焊接工艺特性分析 | 第19-26页 |
| 2.4.1 设备分析 | 第19-21页 |
| 2.4.2 工具分析 | 第21-22页 |
| 2.4.3 材料分析 | 第22-24页 |
| 2.4.4 基本设备工艺参数分析 | 第24-25页 |
| 2.4.5 引线成型参数分析 | 第25-26页 |
| 2.5 本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 粗铝丝超声楔形焊模型建立与分析 | 第27-40页 |
| 3.1 引言 | 第27-28页 |
| 3.2 粗铝丝超声楔形焊的非线性动力学分析 | 第28-29页 |
| 3.3 超声楔形焊模型建立与参数设置 | 第29-32页 |
| 3.3.1 超声楔形焊模型的建立 | 第29-30页 |
| 3.3.2 仿真参数设置 | 第30-32页 |
| 3.4 楔形焊仿真分析过程及模拟结果 | 第32-39页 |
| 3.4.1 初始分析步分析 | 第32页 |
| 3.4.2 劈刀横向位移分析 | 第32-35页 |
| 3.4.3 挤压过程分析 | 第35-39页 |
| 3.5 本章小结 | 第39-40页 |
| 第4章 超声楔形焊工艺参数的优化设计 | 第40-52页 |
| 4.1 引言 | 第40页 |
| 4.2 基于DOE的参数优化原理及流程 | 第40-41页 |
| 4.3 500μm粗铝丝超声楔形焊工艺参数优化设计 | 第41-50页 |
| 4.3.1 工艺参数优化目标 | 第41页 |
| 4.3.2 制定可控因子水平表 | 第41-43页 |
| 4.3.3 制定外表 | 第43-44页 |
| 4.3.4 试验数据采集 | 第44-46页 |
| 4.3.5 位置与散度的计算 | 第46-47页 |
| 4.3.6 试验设计结果分析 | 第47-50页 |
| 4.4 最优工艺参数组合的确定 | 第50-51页 |
| 4.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 楔形焊工艺参数优化结果的质量评价 | 第52-62页 |
| 5.1 引言 | 第52页 |
| 5.2 键合质量评价要求 | 第52-53页 |
| 5.2.1 外观质量要求 | 第52-53页 |
| 5.2.2 键合强度和电参数测试要求 | 第53页 |
| 5.3 工艺参数优化结果的试验验证方案 | 第53-54页 |
| 5.3.1 非破坏性试验方案 | 第53-54页 |
| 5.3.2 破坏性试验方案 | 第54页 |
| 5.4 优化前后非破坏性试验结果 | 第54-57页 |
| 5.4.1 外观质量检查结果 | 第54页 |
| 5.4.2 电参数测试结果 | 第54-55页 |
| 5.4.3 非破坏性强度检测结果 | 第55-57页 |
| 5.4.4 腐蚀试验结果 | 第57页 |
| 5.5 优化前后破坏性拉力试验结果 | 第57-60页 |
| 5.5.1 电参数测试结果 | 第57-59页 |
| 5.5.2 破坏性拉力测试结果 | 第59-60页 |
| 5.6 工艺优化结果的评价 | 第60-61页 |
| 5.7 本章小结 | 第61-62页 |
| 结论 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 附录A 电参数测试数据 | 第68-72页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 个人简历 | 第75页 |