六轴静电悬浮微加速度计的设计及系统级仿真
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-26页 |
| ·微加速度计概述 | 第11-12页 |
| ·国内外研究的现状 | 第12-19页 |
| ·国外的研究现状 | 第12-17页 |
| ·国内的研究情况 | 第17-19页 |
| ·静电悬浮微加速度计的关键技术分析 | 第19-24页 |
| ·静电悬浮微加速度计的制作技术 | 第19-21页 |
| ·静电悬浮微加速度计的微位移电容检测技术 | 第21-22页 |
| ·静电悬浮微加速度计的设计仿真技术 | 第22-24页 |
| ·本文的研究意义和主要研究内容 | 第24-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第二章 六轴静电悬浮微加速度计的结构及动力学原理 | 第26-37页 |
| ·六轴静电悬浮微加速度计的结构 | 第26-29页 |
| ·六轴加速度计的动力学原理 | 第29-36页 |
| ·坐标系 | 第29-31页 |
| ·六自由度加速度计的动态特性 | 第31-35页 |
| ·线性运动的动态方程 | 第33-34页 |
| ·角运动的动态方程 | 第34-35页 |
| ·六自由度加速度计动态方程分析 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 六轴静电悬浮微加速度计的阻尼分析与优化 | 第37-48页 |
| ·阻尼模型 | 第37-39页 |
| ·空气压膜阻尼 | 第38-39页 |
| ·空气滑膜阻尼 | 第39页 |
| ·静电悬浮微加速度计阻尼分析 | 第39-43页 |
| ·理论分析 | 第40-42页 |
| ·有限元分析 | 第42-43页 |
| ·阻尼孔的设计 | 第43-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 六轴静电悬浮微加速度计的电容与静电力模型 | 第48-68页 |
| ·电容模型分析 | 第48-52页 |
| ·悬浮质量块的虚地电位分析 | 第48-50页 |
| ·微加速度计多导体系统的电荷分布仿真 | 第50-52页 |
| ·电极电容的计算公式 | 第52-59页 |
| ·电极电容求解 | 第52-59页 |
| ·轴向平动电容模型 | 第52-55页 |
| ·侧向平动电容模型 | 第55-57页 |
| ·轴向转动电容模型 | 第57-58页 |
| ·侧向转动电容模型 | 第58-59页 |
| ·静电力/力矩的计算公式 | 第59-64页 |
| ·轴向平动静电力模型 | 第59-61页 |
| ·侧向平动静电力模型 | 第61-62页 |
| ·轴向转动静电力矩模型 | 第62-63页 |
| ·侧向转动静电力矩模型 | 第63-64页 |
| ·六轴静电悬浮加速度计的量程设计 | 第64-66页 |
| ·本章小结 | 第66-68页 |
| 第五章 静电悬浮微加速度计的系统级建模仿真 | 第68-85页 |
| ·COVENTORWARE 软件的建模方法 | 第68-70页 |
| ·静电悬浮微加速度计的工艺级和物理级建模 | 第70-78页 |
| ·CoventorWare 工艺级建模介绍 | 第70-72页 |
| ·微加速度计的工艺流程及建模 | 第72-77页 |
| ·微加速度计的物理级模型 | 第77-78页 |
| ·静电悬浮加速度计的器件级和系统级建模仿真 | 第78-84页 |
| ·微加速度计的机电模型 | 第78-79页 |
| ·微加速度计的系统级模型 | 第79-80页 |
| ·微加速度计的起支控制仿真 | 第80-81页 |
| ·微加速度计的稳定悬浮仿真 | 第81-83页 |
| ·微加速度计的输入加速度响应仿真 | 第83-84页 |
| ·本章小结 | 第84-85页 |
| 第六章 总结与展望 | 第85-88页 |
| ·全文总结 | 第85-86页 |
| ·研究展望 | 第86-88页 |
| 参考文献 | 第88-94页 |
| 致谢 | 第94-95页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和申请的专利 | 第95-97页 |
