多梁支撑圆盘电容式微加速度计测控系统的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-20页 |
| ·微机械惯性传感器概况 | 第11-12页 |
| ·微加速度计的研究进展 | 第12-14页 |
| ·电容式微加速度计的发展与测控方案 | 第14-19页 |
| ·电容式微加速度计 | 第14-15页 |
| ·微弱信号检测方法 | 第15-18页 |
| ·微加速度计系统控制方案 | 第18-19页 |
| ·本论文的研究意义及主要内容 | 第19-20页 |
| 第二章 微加速度计的结构与建模分析 | 第20-31页 |
| ·微加速度计的结构及工作原理 | 第20-26页 |
| ·微加速度计的材料选择和结构设计 | 第20-21页 |
| ·电容式微加速度计的工作原理 | 第21-25页 |
| ·微加速度计自检结构及其原理 | 第25-26页 |
| ·微加速度计的电学特性建模 | 第26-30页 |
| ·微加速度计等效电学模型 | 第26-28页 |
| ·差分电容结构等效电学模型 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 基于UV-LIGA 技术的微加工工艺 | 第31-44页 |
| ·微加速度计材料的选择 | 第31-32页 |
| ·微加速度计基本微加工工艺 | 第32-34页 |
| ·微加速度计微机械制造方案 | 第34-35页 |
| ·微加速度计下极板及敏感质量块工艺 | 第35-39页 |
| ·微加速度计上极板工艺 | 第39-42页 |
| ·微加速度计上下极板焊接键合 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 微加速度计测控电路的设计与实现 | 第44-80页 |
| ·闭环测控系统框架 | 第44-45页 |
| ·高频载波及参考信号发生电路 | 第45-51页 |
| ·DDS 高频载波发生电路 | 第45-50页 |
| ·参考信号发生电路 | 第50-51页 |
| ·微位移检测通道设计 | 第51-66页 |
| ·双载波差分电容检测电路 | 第51-53页 |
| ·电荷积分放大电路 | 第53-55页 |
| ·四阶有源带通滤波电路 | 第55-58页 |
| ·相敏解调电路 | 第58-61页 |
| ·有源低通滤波器 | 第61-63页 |
| ·电平转换电路 | 第63-64页 |
| ·微位移检测通道系统仿真 | 第64-66页 |
| ·DSP 28335 数字控制器 | 第66-74页 |
| ·A/D 转换电路 | 第66-67页 |
| ·D/A 转换电路 | 第67-68页 |
| ·采样周期的选取 | 第68-69页 |
| ·闭环PID 控制算法 | 第69-73页 |
| ·控制流程设计 | 第73-74页 |
| ·反馈通道设计 | 第74-78页 |
| ·反馈方式的选择 | 第75页 |
| ·低通滤波电路 | 第75-77页 |
| ·高压放大和反馈叠加电路 | 第77-78页 |
| ·MMA1200 标定加速度计电路 | 第78-79页 |
| ·本章小结 | 第79-80页 |
| 第五章 微加速度计系统测控实验 | 第80-88页 |
| ·检测通道电容标定实验 | 第81-84页 |
| ·微加速度计结构自检测实验 | 第84-85页 |
| ·微加速度计静态加力实验 | 第85-86页 |
| ·微加速度计静态电容检测实验 | 第86-87页 |
| ·本章小结 | 第87-88页 |
| 第六章 总结与展望 | 第88-91页 |
| ·工作总结 | 第88-89页 |
| ·工作展望 | 第89-91页 |
| 附录1 微加速度计测控系统电路图 | 第91-92页 |
| 参考文献 | 第92-97页 |
| 致谢 | 第97-98页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第98-100页 |
