| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第13-25页 |
| 1.1 课题的研究背景与意义 | 第13-14页 |
| 1.2 宏/微双驱动微切削定位进给系统研究现状 | 第14-20页 |
| 1.2.1 宏驱动定位进给系统研究现状 | 第14页 |
| 1.2.2 微驱动定位进给系统研究现状 | 第14-15页 |
| 1.2.3 宏/微双驱动定位进给系统研究现状 | 第15-18页 |
| 1.2.4 宏/微双驱动定位进给系统测量方式研究现状 | 第18-19页 |
| 1.2.5 宏/微双驱动定位进给系统控制技术研究现状 | 第19-20页 |
| 1.3 宏/微双驱动定位进给系统的发展方向 | 第20-21页 |
| 1.4 论文主要研究内容 | 第21-22页 |
| 1.5 论文结构框架 | 第22-23页 |
| 1.6 本章小结 | 第23-25页 |
| 第2章 宏/微双驱动微切削定位进给系统方案设计 | 第25-45页 |
| 2.1 宏/微双驱动定位进给系统的总体设计 | 第25-27页 |
| 2.2 微驱动定位进给系统的方案设计 | 第27-37页 |
| 2.2.1 微驱动系统的布置方案 | 第27-30页 |
| 2.2.2 压电陶瓷的种类和特性分析 | 第30-35页 |
| 2.2.3 柔性铰链的种类和特性分析 | 第35-37页 |
| 2.3 宏驱动定位进给系统的方案设计 | 第37-39页 |
| 2.3.1 宏驱动系统的布置方案 | 第37-38页 |
| 2.3.2 直线电机的选型 | 第38-39页 |
| 2.4 宏/微双驱动定位进给系统的控制方式 | 第39-41页 |
| 2.5 宏/微双驱动定位进给系统的测量方式 | 第41-43页 |
| 2.6 本章小结 | 第43-45页 |
| 第3章 微驱动定位进给系统结构设计研究 | 第45-59页 |
| 3.1 微动平台的结构拓扑优化设计 | 第45-47页 |
| 3.2 柔性铰链结构拓扑优化设计 | 第47-49页 |
| 3.3 微驱动定位进给平台位移输出结构设计 | 第49-52页 |
| 3.4 微驱动定位进给系统有限元仿真分析 | 第52-56页 |
| 3.4.1 模型建立 | 第52页 |
| 3.4.2 静态特性及应力分析 | 第52-54页 |
| 3.4.3 模态分析 | 第54-56页 |
| 3.5 微驱动系统输入和输出性能分析 | 第56-58页 |
| 3.6 本章小结 | 第58-59页 |
| 第4章 宏/微双驱动定位进给系统精度检测与补偿 | 第59-75页 |
| 4.1 宏/微双驱动定位进给系统样机搭建 | 第59-60页 |
| 4.2 宏动平台的定位精度测量 | 第60-65页 |
| 4.2.1 宏动平台X轴定位精度测量 | 第60-63页 |
| 4.2.2 宏动平台Y轴定位精度测量 | 第63-65页 |
| 4.3 宏/微双驱动定位进给系统精度检测 | 第65-67页 |
| 4.4 宏/微双驱动定位进给系统误差分析与补偿 | 第67-74页 |
| 4.4.1 误差来源分析 | 第67页 |
| 4.4.2 误差补偿方法 | 第67-68页 |
| 4.4.3 误差补偿模型建立 | 第68-71页 |
| 4.4.4 BP神经网络误差补偿模型仿真 | 第71-74页 |
| 4.5 本章小结 | 第74-75页 |
| 第5章 宏/微双驱动定位进给系统的动态建模与实验分析 | 第75-85页 |
| 5.1 宏/微双驱动定位进给系统的动力学模型 | 第75-77页 |
| 5.2 微驱动定位进给系统模态实验 | 第77-82页 |
| 5.3 宏/微双驱动定位进给系统精度评定 | 第82-84页 |
| 5.3.1 宏/微双驱动定位进给系统X轴精度评定 | 第82-83页 |
| 5.3.2 宏/微双驱动定位进给系统Y轴精度评定 | 第83-84页 |
| 5.4 本章小结 | 第84-85页 |
| 结论与展望 | 第85-87页 |
| 结论 | 第85-86页 |
| 展望 | 第86-87页 |
| 参考文献 | 第87-93页 |
| 附录 | 第93-99页 |
| 附录1 宏/微双驱动协调控制程序 | 第93-97页 |
| 附录2 宏/微双驱动定位进给系统定位误差数据 | 第97-99页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文和研究成果 | 第99-101页 |
| 致谢 | 第101页 |
