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含钌废料直接制备溅射靶材用高纯钌粉的研究

摘要第3-4页
ABSTRACT第4-5页
第一章 文献综述第9-23页
    1.1 钌的性质第9-12页
        1.1.1 物理性质第9-10页
        1.1.2 化学性质第10页
        1.1.3 钌的化合物及相关反应第10-12页
    1.2 钌的资源第12页
    1.3 钌的应用第12-14页
    1.4 含钌废料回收技术现状第14-19页
        1.4.1 固体中钌的回收第14-16页
        1.4.2 废液中钌的回收第16-18页
        1.4.3 钌的氧化蒸馏提纯第18-19页
    1.5 高纯钌粉的制备第19-20页
    1.6 本论文提出意义及研究内容第20-23页
        1.6.1 本论文选题目的及意义第20-21页
        1.6.2 研究内容第21-23页
第二章 含钌废料碱熔-水浸工艺研究第23-32页
    2.1 实验原料及研究方法第23-25页
    2.2 结果与讨论第25-30页
        2.2.1 碱熔剂种类对钌浸出率的影响第25页
        2.2.2 碱熔温度对钌浸出率的影响第25-26页
        2.2.3 熔剂配比对浸出率的影响第26-28页
        2.2.4 碱熔时间对钌浸出率的影响第28-29页
        2.2.5 水浸温度对浸出率的影响第29-30页
        2.2.6 水浸时间对钌浸出率的影响第30页
    2.3 小结第30-32页
第三章 钌溶液氧化蒸馏提纯钌的工艺研究第32-37页
    3.1 实验原料及研究方法第32-34页
    3.2 钌的蒸馏实验第34-36页
        3.2.1 蒸馏温度对钌直收率的影响第34页
        3.2.2 蒸馏负压对钌直收率的影响第34-35页
        3.2.3 钌蒸馏吸收液杂质成分分析第35-36页
    3.3 小结第36-37页
第四章 钌溶液离子交换净化除杂工艺研究第37-47页
    4.1 离子交换基础理论第37-40页
        4.1.1 阳离子交换树脂结构第37页
        4.1.2 阳离子交换树脂理化性质第37-39页
        4.1.3 离子交换的机理第39-40页
    4.2 氯钌酸溶液离子交换净化除杂工艺研究第40-46页
        4.2.1 实验原料及研究方法第40-42页
        4.2.2 树脂种类对除杂效果的影响第42-43页
        4.2.3 溶液酸度对除杂效果的影响第43-44页
        4.2.4 溶液流速对除杂效果的影响第44-45页
        4.2.5 交换级数对除杂效果的影响第45-46页
    4.3 小结第46-47页
第五章 氯化铵沉淀过程氯钌酸铵形貌控制的研究第47-53页
    5.1 实验原料及研究方法第47-48页
    5.2 结果与讨论第48-52页
        5.2.1 钌浓度对产物形貌的影响第48-49页
        5.2.2 氧化剂加入方式对产物形貌的影响第49页
        5.2.3 氯化铵的加入方式对产物形貌的影响第49-50页
        5.2.4 温度对产物形貌的影响第50-51页
        5.2.5 搅拌对产物形貌的影响第51页
        5.2.6 氯钌酸铵的纯度分析第51-52页
    5.3 小结第52-53页
第六章 氯钌酸铵煅烧-还原制备高纯钌粉的研究第53-60页
    6.1 实验方法与过程第53-55页
    6.2 结果与讨论第55-59页
        6.2.1 煅烧制度对钌粉形貌的影响第55-56页
        6.2.2 还原实验第56-57页
        6.2.3 混合酸煮实验第57-58页
        6.2.4 钌粉的粒度第58-59页
    6.3 小结第59-60页
第七章 结论与展望第60-62页
    7.1 结论第60-61页
    7.2 展望第61-62页
参考文献第62-69页
致谢第69-70页
附录第70页

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