长程表面等离子体共振生物传感器的构建与性能研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 1 前言 | 第8-19页 |
| 1.1 生物传感器简介 | 第8-9页 |
| 1.2 表面等离子体共振(SPR) | 第9-10页 |
| 1.2.1 SPR简介 | 第9-10页 |
| 1.2.2 SPR分析方法 | 第10页 |
| 1.2.3 SPR优势 | 第10页 |
| 1.3 长程表面等离子体共振(LRSPR) | 第10-11页 |
| 1.4 电介质缓冲层 | 第11-12页 |
| 1.4.1 Teflon氟碳薄膜 | 第11-12页 |
| 1.4.2 Cytop全氟树脂 | 第12页 |
| 1.4.3 MgF_2缓冲层 | 第12页 |
| 1.5 氟碳薄膜的制备方法 | 第12-13页 |
| 1.6 等离子体增强化学气相沉积法(PECVD) | 第13-17页 |
| 1.6.1 等离子体概念 | 第14页 |
| 1.6.2 低温等离子体 | 第14-15页 |
| 1.6.3 PECVD技术 | 第15页 |
| 1.6.4 PECVD反应装置 | 第15-16页 |
| 1.6.5 等离子体聚合机理 | 第16-17页 |
| 1.7 光学波导谱 | 第17页 |
| 1.8 本论文的研究目的与意义 | 第17-18页 |
| 1.9 本论文的研究内容 | 第18-19页 |
| 2 材料与方法 | 第19-24页 |
| 2.1 实验主要试剂 | 第19页 |
| 2.2 实验主要仪器 | 第19页 |
| 2.3 PECVD反应装置 | 第19-21页 |
| 2.3.1 真空抽气系统 | 第20页 |
| 2.3.2 射频电源系统 | 第20页 |
| 2.3.3 真空反应器系统 | 第20-21页 |
| 2.3.4 真空测量系统 | 第21页 |
| 2.4 实验过程 | 第21页 |
| 2.4.1 基片清洗 | 第21页 |
| 2.4.2 等离子体沉积 | 第21页 |
| 2.4.3 薄金膜蒸镀 | 第21页 |
| 2.5 测试与表征方法 | 第21-24页 |
| 2.5.1 傅立叶变换红外光谱(FT-IR) | 第21-22页 |
| 2.5.2 X射线光电子能谱(XPS) | 第22页 |
| 2.5.3 原子力显微镜(AFM) | 第22页 |
| 2.5.4 LRSPR、 SPR、 OWS测量 | 第22-24页 |
| 3 结果与讨论 | 第24-45页 |
| 3.1 反应单体 | 第24页 |
| 3.2 红外表征 | 第24-25页 |
| 3.3 XPS表征 | 第25-27页 |
| 3.4 AFM表面形貌表征 | 第27-28页 |
| 3.5 ppPFOE薄膜性能研究 | 第28-36页 |
| 3.5.1 ppPFOE参数测量 | 第28-30页 |
| 3.5.2 ppPFOE薄膜均匀性 | 第30-32页 |
| 3.5.3 ppPFOE薄膜水中稳定性 | 第32-34页 |
| 3.5.4 ppPFOE薄膜乙醇中稳定性 | 第34-36页 |
| 3.6 ppPFOE薄膜厚度影响 | 第36-38页 |
| 3.7 金膜厚度影响 | 第38-40页 |
| 3.8 本体溶液检测 | 第40-43页 |
| 3.9 蛋白质溶液检测 | 第43-45页 |
| 4 结论 | 第45-46页 |
| 5 展望 | 第46-47页 |
| 6 参考文献 | 第47-54页 |
| 7 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第54-55页 |
| 8 致谢 | 第55页 |
