硅片检测运动台系统设计与动态特性研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-23页 |
| 1.1 课题的来源、背景和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 研究现状 | 第11-19页 |
| 1.3 主要研究内容和创新点 | 第19-21页 |
| 1.4 论文章节安排 | 第21-23页 |
| 2 硅片检测运动台结构设计与分析 | 第23-48页 |
| 2.1 引言 | 第23页 |
| 2.2 硅片检测运动台需求分析 | 第23-27页 |
| 2.3 硅片检测运动台方案设计 | 第27-47页 |
| 2.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 3 硅片检测运动台精密气浮转台支承特性研究 | 第48-79页 |
| 3.1 引言 | 第48页 |
| 3.2 气浮转台止推轴承支承特性分析 | 第48-61页 |
| 3.3 气浮转台径向轴承支承特性分析 | 第61-71页 |
| 3.4 气浮转台支承特性分析实验验证 | 第71-77页 |
| 3.5 本章小结 | 第77-79页 |
| 4 硅片检测运动台建模与振动特性研究 | 第79-103页 |
| 4.1 引言 | 第79页 |
| 4.2 运动台关键单元参数辨识 | 第79-94页 |
| 4.3 运动台动力学建模 | 第94-96页 |
| 4.4 运动台振动特性研究 | 第96-98页 |
| 4.5 模态实验验证 | 第98-102页 |
| 4.6 本章小结 | 第102-103页 |
| 5 硅片检测运动台动态特性研究 | 第103-126页 |
| 5.1 引言 | 第103页 |
| 5.2 原理样机控制系统设计 | 第103-111页 |
| 5.3 运动性能分析 | 第111-114页 |
| 5.4 动力学特性分析 | 第114-125页 |
| 5.5 本章小结 | 第125-126页 |
| 6 全文总结与研究展望 | 第126-128页 |
| 6.1 全文总结 | 第126-127页 |
| 6.2 未来研究展望 | 第127-128页 |
| 致谢 | 第128-129页 |
| 参考文献 | 第129-137页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表的主要论文 | 第137-138页 |
| 附录2 硅片检测系统工作流程图 | 第138-139页 |
