| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 类金刚石薄膜 | 第9-12页 |
| 1.1.1 类金刚石薄膜简介 | 第9页 |
| 1.1.2 类金刚石薄膜结构 | 第9-10页 |
| 1.1.3 类金刚石分类 | 第10-11页 |
| 1.1.4 类金刚石薄膜的沉积机理 | 第11-12页 |
| 1.1.5 类金刚石薄膜的制备工艺 | 第12页 |
| 1.2 硅碳氧薄膜 | 第12-16页 |
| 1.2.1 硅碳氧薄膜简介 | 第12-13页 |
| 1.2.2 硅碳氧薄膜结构 | 第13-15页 |
| 1.2.3 硅碳氧薄膜制备工艺 | 第15-16页 |
| 1.3 选题背景 | 第16-17页 |
| 2 实验与表征 | 第17-26页 |
| 2.1 溅射镀膜技术及本文实验装置简介 | 第17-23页 |
| 2.1.1 溅射 | 第17页 |
| 2.1.2 溅射机理 | 第17页 |
| 2.1.3 二极溅射 | 第17-18页 |
| 2.1.4 磁控溅射 | 第18-21页 |
| 2.1.5 实验前预处理 | 第21-22页 |
| 2.1.6 实验原料 | 第22页 |
| 2.1.7 基片处理 | 第22-23页 |
| 2.2 表征方法及原理 | 第23-26页 |
| 2.2.1 X射线衍射仪(XRD) | 第23页 |
| 2.2.2 X射线光电子能谱(XPS) | 第23页 |
| 2.2.3 扫描电子显微镜(SEM) | 第23页 |
| 2.2.4 自动表面轮廓仪 | 第23-24页 |
| 2.2.5 透过率测试 | 第24页 |
| 2.2.6 拉曼光谱仪(Raman spectroscopy) | 第24页 |
| 2.2.7 摩擦磨损测试 | 第24-25页 |
| 2.2.8 显微硬度测试 | 第25页 |
| 2.2.9 光学显微镜 | 第25-26页 |
| 3 类金刚石薄膜的制备与性能 | 第26-48页 |
| 3.1 溅射功率对类金刚石薄膜性能的影响 | 第26-31页 |
| 3.1.1 拉曼光谱分析 | 第26-29页 |
| 3.1.2 薄膜沉积速率分析 | 第29页 |
| 3.1.3 SEM分析 | 第29-30页 |
| 3.1.4 光学性能分析 | 第30-31页 |
| 3.2 工作气压对类金刚石薄膜性能的影响 | 第31-36页 |
| 3.2.1 拉曼光谱分析 | 第32-34页 |
| 3.2.2 薄膜沉积速率分析 | 第34页 |
| 3.2.3 SEM分析 | 第34-35页 |
| 3.2.4 光学性能分析 | 第35-36页 |
| 3.3 基底温度对类金刚石薄膜性能的影响 | 第36-41页 |
| 3.3.1 拉曼光谱分析 | 第36-39页 |
| 3.3.2 薄膜沉积速率分析 | 第39页 |
| 3.3.3 SEM分析 | 第39-40页 |
| 3.3.4 光学性能分析 | 第40-41页 |
| 3.4 氩气流量对类金刚石薄膜性能的影响 | 第41-45页 |
| 3.4.1 拉曼光谱分析 | 第41-43页 |
| 3.4.2 薄膜沉积速率分析 | 第43页 |
| 3.4.3 SEM分析 | 第43-44页 |
| 3.4.4 光学性能分析 | 第44-45页 |
| 3.5 XPS分析 | 第45-47页 |
| 小结 | 第47-48页 |
| 4 碳硅氧薄膜的制备与性能 | 第48-68页 |
| 4.1 溅射功率对碳硅氧薄膜性能的影响 | 第48-55页 |
| 4.1.1 XRD分析 | 第48-49页 |
| 4.1.2 拉曼光谱分析 | 第49-50页 |
| 4.1.3 薄膜沉积速率分析 | 第50-51页 |
| 4.1.4 SEM分析 | 第51-52页 |
| 4.1.5 XPS分析 | 第52-55页 |
| 4.1.6 光学性能分析 | 第55页 |
| 4.2 工作气压对碳硅氧薄膜性能的影响 | 第55-61页 |
| 4.2.1 XRD分析 | 第55-56页 |
| 4.2.2 拉曼光谱分析 | 第56页 |
| 4.2.3 薄膜沉积速率分析 | 第56-57页 |
| 4.2.4 SEM分析 | 第57-58页 |
| 4.2.5 XPS分析 | 第58-61页 |
| 4.2.6 光学性能分析 | 第61页 |
| 4.3 基底温度对碳硅氧薄膜性能的影响 | 第61-66页 |
| 4.3.1 XRD分析 | 第62页 |
| 4.3.2 拉曼光谱分析 | 第62-63页 |
| 4.3.3 薄膜沉积速率分析 | 第63页 |
| 4.3.4 SEM分析 | 第63-64页 |
| 4.3.5 XPS分析 | 第64-66页 |
| 4.3.6 光学性能分析 | 第66页 |
| 本章小结 | 第66-68页 |
| 5 复合薄膜的制备与性能 | 第68-78页 |
| 5.1 制备工艺 | 第68-69页 |
| 5.2 拉曼光谱分析 | 第69页 |
| 5.3 SEM分析 | 第69-72页 |
| 5.4 UMT摩擦磨损分析 | 第72-75页 |
| 5.5 显微硬度测试 | 第75-77页 |
| 本章小结 | 第77-78页 |
| 6 结论 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-83页 |
| 硕士期间发表的论文和参加的项目 | 第83-84页 |
| 致谢 | 第84页 |