| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 研究工作的意义与背景 | 第11-12页 |
| 1.2 光栅制造误差抑制研究现状 | 第12-21页 |
| 1.2.1 机械刻划法制作光栅及其误差抑制的研究 | 第12-13页 |
| 1.2.2 全息曝光制作光栅方法及其误差抑制研究 | 第13-21页 |
| 1.3 课题研究目的内容及论文结构安排 | 第21-23页 |
| 1.3.1 课题研究目的与内容 | 第21页 |
| 1.3.2 论文结构安排 | 第21-23页 |
| 第二章 扫描干涉光刻原理与误差综述 | 第23-37页 |
| 2.1 引言 | 第23页 |
| 2.2 扫描干涉光刻基本原理 | 第23-25页 |
| 2.3 基于零差图像锁定系统的扫描干涉光刻原理方案 | 第25-31页 |
| 2.3.1 零差相位测量原理 | 第26-28页 |
| 2.3.2 声光移频式相位调节原理 | 第28页 |
| 2.3.3 外差光栅位移测量原理 | 第28-31页 |
| 2.4 扫描干涉光刻条纹漂移误差综述 | 第31-33页 |
| 2.4.1 空气环境扰动 | 第31页 |
| 2.4.2 传感器测量误差 | 第31-32页 |
| 2.4.3 曝光路径上光学元件高频振动 | 第32-33页 |
| 2.5 空气折射率波动引起的条纹漂移误差 | 第33-36页 |
| 2.6 本章小节 | 第36-37页 |
| 第三章 刚体运动引起的测量误差分析 | 第37-56页 |
| 3.1 引言 | 第37页 |
| 3.2 相位测量框架的刚体运动 | 第37-43页 |
| 3.2.1 相位测量框架平移运动 | 第38-41页 |
| 3.2.2 相位测量框架旋转运动 | 第41-43页 |
| 3.3 位移测量干涉仪模块的刚体运动 | 第43-50页 |
| 3.3.1 光栅干涉仪模块平移运动 | 第43-45页 |
| 3.3.2 光栅干涉仪模块旋转运动 | 第45-50页 |
| 3.4 工件台刚体运动 | 第50-55页 |
| 3.4.1 工件台平移运动 | 第50-51页 |
| 3.4.2 工件台旋转运动 | 第51-55页 |
| 3.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 第四章 光学元件高频振动引起的条纹漂移误差分析 | 第56-72页 |
| 4.1 引言 | 第56页 |
| 4.2 零差图像锁定系统验证实验装置介绍 | 第56-57页 |
| 4.3 振动直接引入条纹漂移误差的方式概述 | 第57-60页 |
| 4.4 关键元件的振动对条纹漂移误差的影响分析 | 第60-68页 |
| 4.4.1 由反射镜及分光镜旋转振动引起的相位漂移误差 | 第60-61页 |
| 4.4.2 由反射镜及分光镜平移振动引起的相位漂移误差 | 第61-62页 |
| 4.4.3 由PMI平移振动引起的相位漂移测量误差 | 第62-63页 |
| 4.4.4 由声光调制器平移振动引起的相位漂移误差 | 第63-65页 |
| 4.4.5 各元件引起的条纹漂移误差估算 | 第65-68页 |
| 4.5 实验结构弱点分析 | 第68-71页 |
| 4.5.1 单元部件支撑结构 | 第68-70页 |
| 4.5.2 光学面包板柔性变形 | 第70-71页 |
| 4.6 本章小节 | 第71-72页 |
| 第五章 图像锁定方案优化及关键实验验证 | 第72-90页 |
| 5.1 引言 | 第72页 |
| 5.2 条纹漂移误差抑制总体方案设计思路 | 第72-73页 |
| 5.3 测量误差优化抑制方案 | 第73-78页 |
| 5.3.1 光栅干涉仪衍射位置优化 | 第74-75页 |
| 5.3.2 双光栅干涉仪位移解算 | 第75-77页 |
| 5.3.3 光栅干涉仪模块与相位测量干涉仪同框架测量 | 第77-78页 |
| 5.4 元件高频振动优化抑制方案 | 第78-81页 |
| 5.4.1 光学结构刚度优化与连接方式选择 | 第78-79页 |
| 5.4.2 光学元件布局优化 | 第79-81页 |
| 5.5 优化实验验证 | 第81-89页 |
| 5.5.1 光栅干涉仪衍射位置优化可行性验证 | 第81-83页 |
| 5.5.2 结构刚度优化可行性验证 | 第83-86页 |
| 5.5.3 光学元件布局优化可行性验证 | 第86-88页 |
| 5.5.4 零差图像锁定系统精度优化结果 | 第88-89页 |
| 5.6 本章小结 | 第89-90页 |
| 第六章 全文总结与展望 | 第90-92页 |
| 6.1 全文总结 | 第90-91页 |
| 6.2 后续工作展望 | 第91-92页 |
| 致谢 | 第92-93页 |
| 参考文献 | 第93-97页 |
