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基于光楔姿态与条纹分析的多自由度运动误差的测量方法

摘要第1-5页
Abstract第5-6页
目录第6-8页
第1章 绪论第8-12页
   ·课题来源第8页
   ·选题依据及背景第8-9页
   ·本课题研究的目的与意义第9页
   ·国内外研究现状第9-10页
   ·本课题研究内容第10-12页
第2章 基于光楔及三反射镜的干涉系统设计第12-24页
   ·基于光楔的激光干涉系统第12-13页
   ·激光的准直与扩束第13-15页
     ·透射式激光扩束系统第13-14页
     ·反射式扩束系统第14-15页
   ·光束光程、方向与光楔姿态之间的理论关系第15-20页
     ·静态光楔空间矢量模型第16-18页
     ·动态光楔矢量模型第18页
     ·光楔矢量模型仿真及验证第18-20页
   ·反射光路的改进第20-22页
   ·本章小结第22-24页
第3章 条纹形状识别及光束夹角的理论计算第24-36页
   ·干涉条纹形状的识别第24页
   ·四象限光电探测器对条纹信息的识别第24-32页
     ·“田”字型四象限光电探测器的识别法第25-27页
     ·圆形四象限光电探测器的条纹识别法第27-32页
   ·干涉条纹形状与光束夹角的理论关系第32-34页
     ·干涉理论第32页
     ·干涉光路系统第32-33页
     ·干涉条纹形状与光线夹角的理论关系第33-34页
   ·本章小结第34-36页
第4章 系统驱动控制与数据采集的软硬件设计第36-61页
   ·干涉系统总体实施方案第36-37页
   ·PZT 硬件驱动电路第37-38页
   ·四象限光电转换电路第38-41页
   ·激光干涉系统中信号同步处理第41-47页
     ·D/A 驱动 PZT 与 A/D 高速采样的同步处理第41-44页
     ·多通道 A/D 高速采样同步处理第44-47页
   ·信号滤波及相位识别第47-53页
     ·软件滤波算法第47-49页
     ·数据整周期提取算法第49-50页
     ·高精度的相差识别算法第50-53页
   ·条纹形状敏感识别算法第53-56页
   ·光束偏转角软件算法上的改进第56-60页
   ·本章小结第60-61页
第5章 实验结果与误差分析第61-69页
   ·角度测量结果分析第61-64页
   ·误差来源分析第64-65页
   ·干涉信号误差补偿第65-68页
     ·波前误差分析及补偿第65-66页
     ·光电信号的精度分析第66-68页
   ·本章小结第68-69页
第6章 全文总结与展望第69-71页
   ·全文总结第69-70页
   ·课题展望第70-71页
参考文献第71-76页
致谢第76-77页
附录 1 攻读硕士学位期间发表的学术论文第77-78页
附录 2 课题实物图照片第78-80页
附录 3 课题部分程序清单第80-91页

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