| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-12页 |
| ·课题来源 | 第8页 |
| ·选题依据及背景 | 第8-9页 |
| ·本课题研究的目的与意义 | 第9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-10页 |
| ·本课题研究内容 | 第10-12页 |
| 第2章 基于光楔及三反射镜的干涉系统设计 | 第12-24页 |
| ·基于光楔的激光干涉系统 | 第12-13页 |
| ·激光的准直与扩束 | 第13-15页 |
| ·透射式激光扩束系统 | 第13-14页 |
| ·反射式扩束系统 | 第14-15页 |
| ·光束光程、方向与光楔姿态之间的理论关系 | 第15-20页 |
| ·静态光楔空间矢量模型 | 第16-18页 |
| ·动态光楔矢量模型 | 第18页 |
| ·光楔矢量模型仿真及验证 | 第18-20页 |
| ·反射光路的改进 | 第20-22页 |
| ·本章小结 | 第22-24页 |
| 第3章 条纹形状识别及光束夹角的理论计算 | 第24-36页 |
| ·干涉条纹形状的识别 | 第24页 |
| ·四象限光电探测器对条纹信息的识别 | 第24-32页 |
| ·“田”字型四象限光电探测器的识别法 | 第25-27页 |
| ·圆形四象限光电探测器的条纹识别法 | 第27-32页 |
| ·干涉条纹形状与光束夹角的理论关系 | 第32-34页 |
| ·干涉理论 | 第32页 |
| ·干涉光路系统 | 第32-33页 |
| ·干涉条纹形状与光线夹角的理论关系 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-36页 |
| 第4章 系统驱动控制与数据采集的软硬件设计 | 第36-61页 |
| ·干涉系统总体实施方案 | 第36-37页 |
| ·PZT 硬件驱动电路 | 第37-38页 |
| ·四象限光电转换电路 | 第38-41页 |
| ·激光干涉系统中信号同步处理 | 第41-47页 |
| ·D/A 驱动 PZT 与 A/D 高速采样的同步处理 | 第41-44页 |
| ·多通道 A/D 高速采样同步处理 | 第44-47页 |
| ·信号滤波及相位识别 | 第47-53页 |
| ·软件滤波算法 | 第47-49页 |
| ·数据整周期提取算法 | 第49-50页 |
| ·高精度的相差识别算法 | 第50-53页 |
| ·条纹形状敏感识别算法 | 第53-56页 |
| ·光束偏转角软件算法上的改进 | 第56-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第5章 实验结果与误差分析 | 第61-69页 |
| ·角度测量结果分析 | 第61-64页 |
| ·误差来源分析 | 第64-65页 |
| ·干涉信号误差补偿 | 第65-68页 |
| ·波前误差分析及补偿 | 第65-66页 |
| ·光电信号的精度分析 | 第66-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第6章 全文总结与展望 | 第69-71页 |
| ·全文总结 | 第69-70页 |
| ·课题展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 附录 1 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第77-78页 |
| 附录 2 课题实物图照片 | 第78-80页 |
| 附录 3 课题部分程序清单 | 第80-91页 |