| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-30页 |
| ·湿度传感器概述 | 第11-22页 |
| ·湿度传感器分类与发展 | 第11-16页 |
| ·湿度传感器制造技术 | 第16-18页 |
| ·湿度传感器基本特性参数 | 第18-22页 |
| ·湿度传感器吸附理论 | 第22-24页 |
| ·氧化锆和氧化钛的物化特性及其应用 | 第24-28页 |
| ·氧化锆的物化特性及其应用 | 第24-25页 |
| ·氧化钛的物化特性及其应用 | 第25-28页 |
| ·本文的研究内容 | 第28-30页 |
| 2 湿敏元件测量系统与测量方法 | 第30-37页 |
| ·测量系统的设计与实现 | 第30-34页 |
| ·测试环境的搭建 | 第30-32页 |
| ·系统设计 | 第32-33页 |
| ·软件设计与实现 | 第33-34页 |
| ·测试系统的使用说明 | 第34-36页 |
| ·本章小节 | 第36-37页 |
| 3 CMOS工艺兼容的ZrO_2薄膜湿度传感器研究 | 第37-52页 |
| ·插指电极的设计与制作 | 第37-41页 |
| ·采用溶胶-凝胶法制备ZrO_2/TiO_2薄膜 | 第41-43页 |
| ·TiO_2溶胶的制备 | 第41-42页 |
| ·ZrO_2溶胶的制备 | 第42页 |
| ·ZrO_2/TiO_2薄膜制备 | 第42-43页 |
| ·ZrO_2薄膜材料表征 | 第43-48页 |
| ·ZrO_2/TiO_2薄膜湿度传感器的感湿特性研究 | 第48-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 4 ZrO_2∶TiO_2异质纳米纤维制备与湿敏性能研究 | 第52-77页 |
| ·静电纺丝技术 | 第52页 |
| ·单质ZrO_2和TiO_2纳米纤维制备 | 第52-54页 |
| ·ZrO_2和TiO_2纺丝液制备 | 第52-53页 |
| ·单质ZrO_2和TiO_2纳米纤维制备 | 第53-54页 |
| ·正负电场双喷头静电纺丝系统 | 第54-59页 |
| ·系统设计原理 | 第54-56页 |
| ·系统的影响因素 | 第56-58页 |
| ·ZrO_2∶TiO_2异质纳米纤维制备 | 第58-59页 |
| ·单质与异质纳米纤维表征 | 第59-65页 |
| ·X射线衍射分析 | 第59-60页 |
| ·热分析 | 第60-62页 |
| ·红外光谱分析 | 第62-63页 |
| ·形貌分析 | 第63-65页 |
| ·ZrO_2∶TiO_2异质纳米纤维湿度传感器感湿性能研究 | 第65-75页 |
| ·三种纳米纤维湿度传感器制备 | 第65-66页 |
| ·ZrO_2∶TiO_2异质纳米纤维湿度传感器感湿性能 | 第66-75页 |
| ·本章小结 | 第75-77页 |
| 5 碱离子掺杂对ZrO_2厚膜湿度传感器感湿特性的改善 | 第77-103页 |
| ·纳米粉体ZrO_2厚膜湿度传感器感湿性能研究 | 第77-84页 |
| ·器件制备与材料表征 | 第77-79页 |
| ·厚膜ZrO_2湿敏元件的感湿特性研究 | 第79-84页 |
| ·碱离子掺杂对纳米粉体ZrO_2厚膜湿度传感器感湿性能的改善 | 第84-94页 |
| ·湿敏元件的制备与掺杂后湿敏材料的表征 | 第84-88页 |
| ·厚膜ZrO_2湿敏元件的感湿特性改善 | 第88-94页 |
| ·Mg~(2+)掺杂纳米纤维ZrO_2厚膜湿度传感器感湿特性研究 | 第94-102页 |
| ·Mg~(2+)掺杂ZrO_2纳米纤维的制备 | 第94页 |
| ·Mg~(2+)掺杂ZrO_2纳米纤维表征 | 第94-97页 |
| ·湿敏元件的感湿特性 | 第97-102页 |
| ·本章小节 | 第102-103页 |
| 6 纳米ZrO_2湿度传感器感湿机理研究 | 第103-131页 |
| ·纳米ZrO_2湿度传感器的介电特性 | 第103-106页 |
| ·电容特性 | 第103-104页 |
| ·介电损耗特性 | 第104-106页 |
| ·纳米ZrO_2湿度传感器的直流特性 | 第106-111页 |
| ·异质纳米纤维ZrO_2：TiO_2湿度传感器的伏安特性 | 第106-108页 |
| ·异质纳米纤维ZrO_2：TiO_2湿度传感器直流瞬时性 | 第108-111页 |
| ·纳米ZrO_2湿度传感器的交流特性 | 第111-117页 |
| ·电化学元件CPE和Warburg | 第111-113页 |
| ·纳米ZrO_2湿度传感器的复阻抗图与等效电路 | 第113-117页 |
| ·纳米ZrO_2湿度传感器吸附理论 | 第117-124页 |
| ·水在纳米ZrO_2表面的吸附模型 | 第117-121页 |
| ·质子在吸附水中的传导机制 | 第121-124页 |
| ·频率和温度对纳米ZrO_2湿度传感器感湿性能影响 | 第124-129页 |
| ·频率的影响 | 第124-127页 |
| ·温度的影响 | 第127-129页 |
| ·本章小节 | 第129-131页 |
| 结论 | 第131-134页 |
| 创新点摘要 | 第134-135页 |
| 参考文献 | 第135-149页 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文情况 | 第149-151页 |
| 致谢 | 第151-152页 |
| 作者简介 | 第152-153页 |
