| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·石墨烯概述 | 第7-9页 |
| ·石墨烯简介 | 第7页 |
| ·石墨烯的特性及应用 | 第7-8页 |
| ·石墨烯的制备方法 | 第8-9页 |
| ·大面积石墨烯 CVD 制备方法 | 第9-11页 |
| ·CVD 简介 | 第9页 |
| ·CVD 法制备石墨烯 | 第9-11页 |
| ·大面积石墨烯 CVD 系统的控制要求 | 第11页 |
| ·本文章节安排 | 第11-13页 |
| 第二章 石墨烯 CVD 控制系统的硬件设计 | 第13-19页 |
| ·石墨烯 CVD 系统的结构及组成 | 第13-14页 |
| ·石墨烯 CVD 控制系统的设备选型 | 第14-17页 |
| ·可编程逻辑控制器的选型 | 第14-15页 |
| ·电炉的选择 | 第15-16页 |
| ·真空计的选择 | 第16页 |
| ·流量计的选择 | 第16-17页 |
| ·机械泵的选择 | 第17页 |
| ·石墨烯 CVD 压力控制系统的特点 | 第17-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 第三章 石墨烯 CVD 系统的软件设计 | 第19-33页 |
| ·WINCCV6.0 概述 | 第19-20页 |
| ·WinCC V6.0 简介 | 第19-20页 |
| ·WinCC 的体系结构 | 第20页 |
| ·上位机监控系统的程序设计 | 第20-24页 |
| ·上位机主监控界面 | 第20-22页 |
| ·配方表的制作与下载 | 第22-24页 |
| ·PLC 系统的程序设计 | 第24-31页 |
| ·PLC 的工作原理 | 第24-25页 |
| ·PLC 的组织块 OB1 | 第25-28页 |
| ·手动程序 | 第28-29页 |
| ·自动程序 | 第29-31页 |
| ·本章小结 | 第31-33页 |
| 第四章 石墨烯 CVD 气压控制系统的数学模型 | 第33-49页 |
| ·建立数学模型的基本方法 | 第33-34页 |
| ·系统辨识概述 | 第34-42页 |
| ·系统辨识的定义 | 第34-37页 |
| ·系统辨识的方法 | 第37-40页 |
| ·系统辨识的的步骤 | 第40-42页 |
| ·石墨烯 CVD 气压系统数学模型的建立 | 第42-47页 |
| ·辨识目的和先验知识 | 第42页 |
| ·实验设计 | 第42-43页 |
| ·模型结构辨识 | 第43-44页 |
| ·模型参数辨识 | 第44-46页 |
| ·模型检验 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 第五章 石墨烯 CVD 系统压力控制算法的研究 | 第49-73页 |
| ·PID 控制器的设计与仿真 | 第49-56页 |
| ·PID 控制器的原理及调节规律 | 第49-52页 |
| ·两种 PID 数字控制器的仿真结果与分析 | 第52-56页 |
| ·模糊 PID 控制器的设计与仿真 | 第56-64页 |
| ·模糊控制简介 | 第57-58页 |
| ·模糊 PID 控制器 | 第58页 |
| ·模糊 PID 控制器的设计 | 第58-63页 |
| ·常规 PID 参数自组织模糊控制系统的仿真与分析 | 第63-64页 |
| ·增量式 PID 参数自组织模糊控制器的研究 | 第64-67页 |
| ·专家 PID 控制的可行性分析 | 第67-71页 |
| ·专家 PID 控制原理 | 第67-69页 |
| ·专家 PID 控制器的 SIMULINK 仿真系统 | 第69-71页 |
| ·本章小结 | 第71-73页 |
| 第六章 总结与展望 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-80页 |