一种MEMS电容式加速度传感器接口集成电路的设计
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-13页 |
| ·硅微加速度传感器 | 第10-11页 |
| ·差分电容式加速度传感器接口电路技术的现状 | 第11页 |
| ·本文主要工作 | 第11-12页 |
| ·本论文的结构安排 | 第12-13页 |
| 第二章 闭环力反馈结构差分电容式加速度计系统原理 | 第13-20页 |
| ·加速度检测原理 | 第13-15页 |
| ·差分电容式加速度传感器 | 第15-16页 |
| ·闭环力反馈结构差分电容式加速度计系统原理 | 第16-19页 |
| ·闭环力反馈结构差分电容式加速度计 | 第16-17页 |
| ·静电力产生原理 | 第17-18页 |
| ·系统性能 | 第18-19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 第三章 接口集成电路设计 | 第20-55页 |
| ·整体电路系统原理 | 第20-21页 |
| ·对称偏压产生电路 | 第21-25页 |
| ·设计要求 | 第21页 |
| ·设计思路 | 第21-22页 |
| ·电路设计方案及工作原理 | 第22-25页 |
| ·仿真分析 | 第25页 |
| ·激励方波信号发生器 | 第25-30页 |
| ·设计要求 | 第25-27页 |
| ·设计思路 | 第27页 |
| ·电路设计方案及工作原理 | 第27-29页 |
| ·仿真分析结果 | 第29-30页 |
| ·高阻缓冲器 | 第30-34页 |
| ·设计要求 | 第30-31页 |
| ·设计思路 | 第31-34页 |
| ·电路设计方案及工作原理 | 第34页 |
| ·仿真分析结果 | 第34页 |
| ·解调电路 | 第34-39页 |
| ·设计要求 | 第34-36页 |
| ·设计思路 | 第36页 |
| ·电路设计方案及工作原理 | 第36-38页 |
| ·仿真分析结果 | 第38-39页 |
| ·差分放大器 | 第39-43页 |
| ·设计要求 | 第39-40页 |
| ·设计思路 | 第40页 |
| ·电路设计方案及工作原理 | 第40-41页 |
| ·仿真分析结果 | 第41-43页 |
| ·PID 及放大环节 | 第43-47页 |
| ·设计要求 | 第43页 |
| ·设计思路 | 第43-44页 |
| ·电路设计方案及工作原理 | 第44-47页 |
| ·仿真分析结果 | 第47页 |
| ·其他电路 | 第47-53页 |
| ·刻度因数调节运算放大器 | 第47-49页 |
| ·自检电路 | 第49-51页 |
| ·偏置电路 | 第51-53页 |
| ·接口集成电路顶层电路图 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第四章 接口集成电路工艺及版图实现 | 第55-72页 |
| ·单片模拟集成电路工艺概述 | 第55-56页 |
| ·基本工艺 | 第55页 |
| ·双极和 CMOS 工艺对比 | 第55-56页 |
| ·标准双极工艺 | 第56页 |
| ·接口集成电路所采用的工艺 | 第56-63页 |
| ·工艺概述 | 第56-58页 |
| ·基本器件结构与参数 | 第58-61页 |
| ·基本工艺流程 | 第61页 |
| ·基本图形设计规则 | 第61-63页 |
| ·接口集成电路版图设计 | 第63-71页 |
| ·基本流程 | 第63-66页 |
| ·子模块版图设计要点 | 第66-71页 |
| ·总体版图设计情况 | 第71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 第五章 流片结果测试评估 | 第72-79页 |
| ·芯片照片及测试线路 | 第72-73页 |
| ·测试过程及结果 | 第73-77页 |
| ·电路基本功能参数测试 | 第73-75页 |
| ·加速度计系统功能参数测试 | 第75-77页 |
| ·参数测试结果评估 | 第77-78页 |
| ·本章小结 | 第78-79页 |
| 第六章 结论 | 第79-80页 |
| ·本文的主要贡献 | 第79页 |
| ·下一步工作的展望 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
| 参考文献 | 第81-84页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第84-85页 |
