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高密度InAs/GaAs量子点的生长与表征

摘要第1-6页
Abstract第6-10页
1 绪论第10-14页
   ·研究背景和研究意义第10-11页
   ·相关的研究概况第11-13页
   ·本论文的组织和结构第13-14页
2 量子点的特性和自组装生长第14-19页
   ·半导体量子点的特性第14-15页
   ·量子点的自组装生长第15-17页
   ·本章小结第17-19页
3 MOCVD 外延系统与材料表征方法第19-32页
   ·MOCVD 的概念和生长原理第19-20页
   ·MOCVD 外延系统第20-25页
   ·材料的表征设备和表征方法第25-31页
   ·本章小结第31-32页
4 InAs/GaAs 量子点生长条件的初步探究第32-40页
   ·InAs/GaAs 量子点基本条件的探究第32-36页
   ·InAs/GaAs 量子点中大团簇的消去第36-39页
   ·本章小结第39-40页
5 生长条件对 InAs/GaAs 量子点的密度和尺寸影响的研究第40-52页
   ·InAs 的生长温度对 InAs/GaAs 量子点的密度和尺寸的影响第40-43页
   ·InAs 的沉积量对 InAs/GaAs 量子点的密度和尺寸的影响第43-45页
   ·InAs 的 V/III 对 InAs/GaAs 量子点的密度和尺寸的影响第45-48页
   ·量子点生长后中断时间对 InAs/GaAs 量子点的密度和尺寸的影响第48-51页
   ·本章小结第51-52页
6 生长条件对 InAs/GaAs 量子点的成核位置和分布影响的研究第52-63页
   ·InAs/GaAs 量子点成核位置研究第52-56页
   ·InAs/GaAs 量子点的 PAI 方法生长和优化第56-62页
   ·本章小结第62-63页
7 总结和展望第63-65页
   ·全文总结第63-64页
   ·研究展望第64-65页
致谢第65-67页
参考文献第67-72页
附录 1 攻读学位期间发表论文目录第72页

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