晶体生长辅助控制系统的研究
摘要 | 第1-6页 |
ABSTRACT | 第6-11页 |
第1章 绪论 | 第11-16页 |
·课题研究的背景及意义 | 第11-12页 |
·相关技术发展概述 | 第12-15页 |
·伺服系统的发展 | 第12-13页 |
·提拉式晶体生长方法 | 第13-15页 |
·课题来源及主要研究内容 | 第15-16页 |
·课题来源 | 第15页 |
·课题主要研究的内容 | 第15-16页 |
第2章 升降控制单元硬件及程序设计 | 第16-29页 |
·升降控制单元硬件设计 | 第16-24页 |
·升降控制单元工作原理 | 第16-17页 |
·伺服控制模块的设计 | 第17-22页 |
·位移采集模块的设计 | 第22-24页 |
·单片机MSP430F149 的结构与应用设计 | 第24页 |
·升降控制单元程序设计 | 第24-27页 |
·自动调速子程序设计 | 第26-27页 |
·速度切换子程序的设计 | 第27页 |
·本章小结 | 第27-29页 |
第3章 旋转控制单元硬件及程序设计 | 第29-36页 |
·旋转控制单元硬件设计 | 第29-33页 |
·旋转控制单元工作原理 | 第29页 |
·旋转控制单元中伺服控制模块设计 | 第29-30页 |
·角位移传感器的工作原理及应用设计 | 第30-33页 |
·显示模块设计 | 第33页 |
·旋转控制单元软件设计 | 第33-35页 |
·本章小结 | 第35-36页 |
第4章 重量监测单元硬件及程序设计 | 第36-44页 |
·重量监测单元硬件设计 | 第36-41页 |
·重量监测单元工作原理 | 第36-37页 |
·重量采集模块的设计 | 第37-38页 |
·24 位模数转换器LTC2400 | 第38-39页 |
·重量监测单元中功能按键与声音报警设计 | 第39-41页 |
·重量监测单元软件设计 | 第41-43页 |
·模数转换子程序的设计 | 第42页 |
·软件滤波设计 | 第42-43页 |
·本章小结 | 第43-44页 |
第5章 升降、旋转、重量单元与工控机的通信设计 | 第44-56页 |
·串行通信 | 第44-47页 |
·通信方式的选择 | 第44页 |
·通信接口总线选择 | 第44-47页 |
·系统通信协议 | 第47-49页 |
·通信协议 | 第47-48页 |
·差错检查 | 第48-49页 |
·串行通信硬件设计 | 第49-52页 |
·RS-232/RS-485 转换器的设计 | 第49-52页 |
·控制单元上RS-485 接口的实现 | 第52页 |
·系统通信程序设计 | 第52-54页 |
·线路空闲多机通信模式 | 第53页 |
·地址位多机通信模式 | 第53-54页 |
·本章小结 | 第54-56页 |
结论 | 第56-57页 |
参考文献 | 第57-60页 |
攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第60-61页 |
致谢 | 第61页 |