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用于压电陶瓷微位移标定的触针激光干涉测量仪的研制

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-6页
目录第6-8页
1 绪论第8-14页
   ·仪器研制的目的和意义第8页
   ·微位移测量技术的发展概况第8-10页
   ·光学法在微位移量测量中的应用第10-13页
   ·本文的主要工作第13-14页
2 触针式激光干涉压电陶瓷微位移测量仪总体设计第14-17页
   ·仪器的总体设计第14-15页
   ·仪器的测量过程第15-16页
   ·仪器的技术指标第16页
   ·仪器测量精度的影响因素第16页
   ·本章总结第16-17页
3 杠杆触针式位移传感器的设计第17-26页
   ·杠杆触针式位移传感器的结构设计第17-19页
   ·杠杆触针式传感器的误差分析第19-24页
   ·非线性误差的补偿第24-25页
   ·本章小结第25-26页
4 光学系统的设计第26-40页
   ·触针激光干涉测量仪原理第26-27页
   ·光学系统的设计第27-28页
   ·影响干涉条纹质量的因素第28-31页
   ·干涉条纹宽度与光电二极管安装位置对输出信号的影响第31-36页
   ·器件选择第36-38页
   ·本章小结第38-40页
5 测控电路的设计第40-49页
   ·数据采集卡的设计第40-46页
   ·压电陶瓷驱动系统的设计第46-48页
   ·本章小结第48-49页
6 软件系统的设计第49-56页
   ·软件的功能第49-50页
   ·软件的实现第50-53页
   ·微位移量的测量试验第53-55页
   ·本章小结第55-56页
7 全文总结及展望第56-58页
   ·全文总结第56-57页
   ·展望及今后的工作建议第57-58页
致谢第58-59页
参考文献第59-62页
附录一 电路板及实物第62-63页
附录二 干涉仪实物图第63页

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