摘要 | 第1-5页 |
ABSTRACT | 第5-6页 |
目录 | 第6-8页 |
1 绪论 | 第8-14页 |
·仪器研制的目的和意义 | 第8页 |
·微位移测量技术的发展概况 | 第8-10页 |
·光学法在微位移量测量中的应用 | 第10-13页 |
·本文的主要工作 | 第13-14页 |
2 触针式激光干涉压电陶瓷微位移测量仪总体设计 | 第14-17页 |
·仪器的总体设计 | 第14-15页 |
·仪器的测量过程 | 第15-16页 |
·仪器的技术指标 | 第16页 |
·仪器测量精度的影响因素 | 第16页 |
·本章总结 | 第16-17页 |
3 杠杆触针式位移传感器的设计 | 第17-26页 |
·杠杆触针式位移传感器的结构设计 | 第17-19页 |
·杠杆触针式传感器的误差分析 | 第19-24页 |
·非线性误差的补偿 | 第24-25页 |
·本章小结 | 第25-26页 |
4 光学系统的设计 | 第26-40页 |
·触针激光干涉测量仪原理 | 第26-27页 |
·光学系统的设计 | 第27-28页 |
·影响干涉条纹质量的因素 | 第28-31页 |
·干涉条纹宽度与光电二极管安装位置对输出信号的影响 | 第31-36页 |
·器件选择 | 第36-38页 |
·本章小结 | 第38-40页 |
5 测控电路的设计 | 第40-49页 |
·数据采集卡的设计 | 第40-46页 |
·压电陶瓷驱动系统的设计 | 第46-48页 |
·本章小结 | 第48-49页 |
6 软件系统的设计 | 第49-56页 |
·软件的功能 | 第49-50页 |
·软件的实现 | 第50-53页 |
·微位移量的测量试验 | 第53-55页 |
·本章小结 | 第55-56页 |
7 全文总结及展望 | 第56-58页 |
·全文总结 | 第56-57页 |
·展望及今后的工作建议 | 第57-58页 |
致谢 | 第58-59页 |
参考文献 | 第59-62页 |
附录一 电路板及实物 | 第62-63页 |
附录二 干涉仪实物图 | 第63页 |