柔性基板输送试验平台的机械设计分析与系统实现

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-15页
·课题来源	第8页
·课题背景、目的和意义	第8-11页
·相关技术与国内外研究现状	第11-13页
·本文主要研究内容	第13-15页
2 基板输送试验平台介绍	第15-27页
·引言	第15页
·基板输送系统介绍	第15-17页
·基板输送试验平台设计要求	第17-18页
·基板输送试验平台系统组成	第18-19页
·基板输送试验平台机械结构设计	第19-22页
·基板输送试验平台布局方案介绍与分析	第22-25页
·小结	第25-27页
3 摆臂的有限元优化分析	第27-46页
·引言	第27-28页
·有限元与优化分析介绍	第28-30页
·载荷分析	第30-34页
·摆臂原结构强度校核	第34-36页
·摆臂的优化分析	第36-41页
·摆臂新结构强度校核与模态分析	第41-45页
·小结	第45-46页
4 系统实现与试验数据分析	第46-57页
·引言	第46页
·控制系统介绍与分析	第46-51页
·不同工况下的试验	第51-56页
·张力控制系统分析与结论	第56页
·小结	第56-57页
5 总结与展望	第57-59页
·总结	第57页
·展望	第57-59页
致谢	第59-60页
参考文献	第60-62页