| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-10页 |
| 第1章 引言 | 第10-14页 |
| ·Pb(Zr,Ti)O_3材料介绍 | 第10-12页 |
| ·本课题研究背景 | 第12-13页 |
| ·论文的主要内容及意义 | 第13-14页 |
| 第2章 材料的制备及检测方法 | 第14-21页 |
| ·材料的制备方法 | 第14-16页 |
| ·磁控溅射基本原理 | 第14-15页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第15-16页 |
| ·材料的检测方法 | 第16-21页 |
| ·X射线衍射基本原理 | 第17-18页 |
| ·高能电子衍射仪原理 | 第18-19页 |
| ·铁电性能的测量方法 | 第19-21页 |
| 第3章 Si基含Ti-Al缓冲层的PZT异质结性能研究 | 第21-36页 |
| ·LNO/PZT/LNO异质结的制备 | 第21-23页 |
| ·LNO生长温度对PZT性能的影响 | 第23-27页 |
| ·Ti-Al缓冲层厚度对PZT性能的影响 | 第27-31页 |
| ·导电电极LSCO和铁电材料BLT对Si基PZT性能影响研究 | 第31-34页 |
| ·小结 | 第34-36页 |
| 第4章 LaAlO3基含Ti-Al缓冲层的PZT异质结性能研究 | 第36-46页 |
| ·LaAlO_3基外延LSCO材料制备及表征 | 第36-39页 |
| ·LaAlO_3基PZT异质结的制备及性能分析 | 第39-45页 |
| ·小结 | 第45-46页 |
| 第5章 结束语 | 第46-48页 |
| 参考文献 | 第48-54页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55页 |
