| 中文摘要 | 第1-5页 |
| 英文摘要 | 第5-7页 |
| 第一章 引言 | 第7-21页 |
| §1．1 陀螺简介 | 第7-9页 |
| §1．2 陀螺分类 | 第9-13页 |
| §1．2．1 机械转子陀螺 | 第9页 |
| §1．2．2 光学陀螺 | 第9-11页 |
| §1．2．3 振动式陀螺 | 第11-13页 |
| §1．3 微机械陀螺概述 | 第13-20页 |
| §1．4 本论文工作内容 | 第20-21页 |
| 第二章 微机械振动式陀螺基础 | 第21-57页 |
| §2．1 微机械振动式陀螺工作原理 | 第21-26页 |
| §2．2 微机械陀螺中静电驱动与敏感电容 | 第26-35页 |
| §2．2．1 静电驱动 | 第26-30页 |
| §2．2．2 微机械加工的敏感电容边缘效应 | 第30-35页 |
| §2．3 空气阻尼 | 第35-45页 |
| §2．3．1 压膜阻尼 | 第36-41页 |
| §2．3．2 滑膜阻尼 | 第41-45页 |
| §2．4 微机械陀螺弹性梁结构分析 | 第45-48页 |
| §2．5 微机械陀螺动力学分析 | 第48-56页 |
| §2．6 小结 | 第56-57页 |
| 第三章 栅结构微机械振动式陀螺的设计 | 第57-73页 |
| §3．1 栅结构微机械振动式陀螺结构和工作原理 | 第57-58页 |
| §3．2 栅结构微机械振动式陀螺的结构设计 | 第58-62页 |
| §3．3 栅结构微机械振动式陀螺驱动静电力和敏感电容分析 | 第62-67页 |
| §3．4 栅结构微机械振动式陀螺的阻尼分析 | 第67-68页 |
| §3．5 栅结构微机械振动式陀螺角速度敏感特性分析 | 第68-72页 |
| §3．6 小结 | 第72-73页 |
| 第四章 栅结构微机械振动式陀螺的制作 | 第73-87页 |
| §4．1 硅—玻璃静电键合技术 | 第74-77页 |
| §4．2 硅深反应离子刻蚀技术 | 第77-79页 |
| §4．3 栅结构微机械振动式陀螺的制作 | 第79-81页 |
| §4．4 制作工艺对器件的影响 | 第81-86页 |
| §4．5 小结 | 第86-87页 |
| 第五章 栅结构微机械陀螺的等效电路模型及检测电路 | 第87-105页 |
| §5．1 微机械陀螺动力学等效电路模型 | 第87-90页 |
| §5．1．1 微机械陀螺驱动模态等效电路模型 | 第87-89页 |
| §5．1．2 微机械陀螺检测模态等效电路模型 | 第89-90页 |
| §5．2 微机械陀螺动力学的等效电路模型模拟 | 第90-95页 |
| §5．2．1 微机械陀螺动力学等效电路模型模拟 | 第91-93页 |
| §5．2．2 检测振动对输入角速度的频响特性 | 第93-95页 |
| §5．3 微机械陀螺检测电路设计 | 第95-97页 |
| §5．4 栅结构微机械陀螺检测电容的等效电路模型 | 第97-100页 |
| §5．5 检测电路行为级模拟与分析 | 第100-104页 |
| §5．6 小结 | 第104-105页 |
| 第六章 栅结构微机械陀螺性能测试 | 第105-123页 |
| §6．1 栅结构微机械陀螺性能测试方法和测试系统 | 第105-109页 |
| §6．2 栅结构微机械陀螺性能测试及结果讨论 | 第109-122页 |
| §6．2．1 栅结构微机械陀螺振动模态测试 | 第109-114页 |
| §6．2．2 栅结构微机械陀螺角速度测试 | 第114-118页 |
| §6．2．3 栅结构微机械陀螺机械耦合测试 | 第118-122页 |
| §6．3 小结 | 第122-123页 |
| 第七章 总结 | 第123-125页 |
| 参考文献 | 第125-135页 |
| 发表文章目录 | 第135-139页 |
| 致谢 | 第139-140页 |