超精密磨削蓝宝石基片的软磨料砂轮磨削性能

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-18页
·单晶蓝宝石晶体材料特性	第8-10页
·论文选题背景	第10-12页
·蓝宝石基片国内外加工现状	第12-15页
·单晶蓝宝石晶体材料加工技术简介	第12-14页
·国外技术现状	第14-15页
·国内技术现状	第15页
·本文主要研究内容及意义	第15-18页
2 软磨料研磨盘的研制	第18-34页
·磨料组分的选择	第18-23页
·磨具各组分的选用	第18-21页
·磨具配方的设计	第21-23页
·研磨盘结构的设计	第23-27页
·制作工艺以及具体加工	第27-31页
·研磨盘的修整	第31-33页
·本章小结	第33-34页
3 软磨料磨具加工去除机理	第34-51页
·软磨料磨具加工材料去除模型	第34-40页
·单晶蓝宝石固相化学反应原理	第34-36页
·固结软磨料加工原理	第36-37页
·接触压力	第37-38页
·接触面积	第38-39页
·表面接触温度	第39-40页
·影响固相化学反应的因素	第40-41页
·软磨料研磨盘研磨性能	第41-50页
·加工设备以及检测手段	第41-43页
·研磨性能研究	第43-50页
·本章小结	第50-51页
4 软磨料砂轮磨削性能研究	第51-65页
·软磨料砂轮的研制	第51-58页
·软磨料砂轮配方的设计	第51-53页
·软磨料砂轮结构的设计	第53-55页
·砂轮动平衡及修整	第55-58页
·蓝宝石基片自旋转磨削	第58-60页
·超精密旋转工作台磨削	第58页
·自旋转工作台磨削原理与特点	第58-60页
·软磨料砂轮磨削性能	第60-64页
·试验条件与检测方法	第60-62页
·试验结果与讨论	第62-64页
·本章小结	第64-65页
结论	第65-67页
参考文献	第67-70页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第70-71页
致谢	第71-72页