| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-21页 |
| ·研究背景及意义 | 第9-11页 |
| ·KDP晶体材料特性 | 第11-13页 |
| ·KDP晶体研究现状 | 第13-20页 |
| ·KDP晶体生长现状 | 第13-15页 |
| ·KDP晶体力学性能研究现状 | 第15-17页 |
| ·KDP晶体加工现状 | 第17-19页 |
| ·KDP晶体加工损伤检测现状 | 第19-20页 |
| ·课题来源及主要研究内容 | 第20-21页 |
| 2 KDP晶体加工试件的制备及其切割和抛光质量的分析 | 第21-36页 |
| ·引言 | 第21页 |
| ·样品的切割及抛光 | 第21-29页 |
| ·样品的切割 | 第22-27页 |
| ·样品的抛光 | 第27-29页 |
| ·清洗方法对KDP晶体抛光表面质量的影响 | 第29-35页 |
| ·超声波清洗 | 第30-31页 |
| ·擦镜纸清洗 | 第31-32页 |
| ·酒精棉清洗 | 第32-34页 |
| ·酒精棉与擦镜纸相结合清洗 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 3 KDP晶体磨削加工表面层质量的检测及分析 | 第36-54页 |
| ·引言 | 第36页 |
| ·平面磨床磨削表面层质量的检测与分析 | 第36-46页 |
| ·实验设计 | 第36-38页 |
| ·结果及讨论 | 第38-46页 |
| ·自旋转磨削表面层质量的检测与分析 | 第46-52页 |
| ·实验参数 | 第46-47页 |
| ·表面损伤的观测及分析 | 第47-51页 |
| ·亚表面损伤的观测及分析 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 4 KDP晶体磨削损伤机理的实验研究 | 第54-69页 |
| ·引言 | 第54-55页 |
| ·实验设计 | 第55-56页 |
| ·划痕表面形貌及摩擦系数 | 第56-59页 |
| ·划痕表面形貌 | 第56-57页 |
| ·划痕摩擦系数 | 第57-59页 |
| ·划痕亚表面损伤形式及损伤深度 | 第59-66页 |
| ·亚表面损伤形式及裂纹形状 | 第59-64页 |
| ·亚表面损伤深度 | 第64-66页 |
| ·不同晶向亚表面位错腐蚀坑 | 第66-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 结论 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |