| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-21页 |
| ·引言 | 第12-13页 |
| ·研究现状 | 第13-19页 |
| ·研究意义 | 第19-20页 |
| ·研究内容 | 第20-21页 |
| 第二章 热丝CVD 法制备金刚石薄膜 | 第21-33页 |
| ·基本原理和实验方法 | 第21-22页 |
| ·衬底的预处理 | 第22-27页 |
| ·实验结果和薄膜微观结构表征 | 第27-28页 |
| ·低摩擦系数金刚石薄膜的结构和性能特征 | 第28-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 CVD 金刚石薄膜涂层轴承支撑器的制备和应用 | 第33-43页 |
| ·引言 | 第33-34页 |
| ·CVD 金刚石薄膜沉积装置的研制 | 第34-35页 |
| ·高性能 CVD 金刚石薄膜涂层支撑器的制备与应用 | 第35-41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 第四章 高性能CVD 金刚石薄膜涂层轴承支撑器的磨削实验 | 第43-60页 |
| ·引言 | 第43页 |
| ·轴承支撑器的受力分析 | 第43-49页 |
| ·试验方法 | 第49-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章总结 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 附录:作者在攻读硕士学位论文期间拟发表的论文 | 第65页 |